Partikelerzeugung von Stangendichtungen im Reinraum

Partikelerzeugungsraten von Stangendichtungen sind um den Hintergrund bereinigte luftgetragene Partikelzahlen, die der Dichtungsbewegung über eine angegebene Zeit oder Zykluszahl zugerechnet werden. Sie lassen sich nicht allein aus Dichtungswerkstoff, Druck und Hub bestimmen. Messen Sie den genauen Zylinder in einer kontrollierten Anordnung und bewahren Sie Betriebs- und Probenahmebedingungen mit dem Ergebnis auf.

Diese Unterscheidung ist wichtig, weil eine ISO-Reinraumklasse eine Konzentrationsgrenze für die Luft an festgelegten Orten darstellt. Sie ist keine allgemeingültige Zahl zulässiger Partikel pro Zylinderhub. Ein Komponentenergebnis wird erst dann nützlich, wenn Prüfgrenze und Grenze des eingebauten Reinraums ohne verdeckte Annahmen verbunden werden.

Das Wichtigste in Kürze

ISO Klasse 5 erlaubt 3,520 Partikel/m³ ab 0.5 µm (FDA, 2020).

Berechnen Sie Partikel je Zyklus aus hintergrundbereinigten Messungen, nicht aus theoretischem Dichtungsverschleiß.

Halten Sie erfasste Partikelzahlen von der gesamten Geräteemission getrennt.

Bestätigen Sie den eingebauten Raum an festgelegten Orten und in den geforderten Betriebszuständen.

Am klarsten lässt sich die Aufgabe als Nachweiskette strukturieren. Messen Sie zuerst, was der Antrieb freisetzt. Modellieren Sie dann, wie diese Quelle die umgebende Luft beeinflussen könnte. Klassifizieren oder überwachen Sie abschließend die reale Reinzone. Jeder Schritt beantwortet eine andere Frage.

Raumklasse, Komponenten-Partikelprüfung und technisches Quellenmodell sind miteinander verbunden, aber keine austauschbaren Nachweise.

Was misst eine ISO-Reinraumklasse tatsächlich?

ISO 14644-1 klassifiziert Luft anhand kumulierter Konzentrationen an ausgewählten Partikelgrößenschwellen von 0.1 µm bis 5 µm. Für Partikel ab 0.5 µm erlaubt ISO Klasse 5 3,520 Partikel/m³, ISO Klasse 6 dagegen 35,200 Partikel/m³ (ISO 14644-1, 2015; FDA, 2020).

Die Klasse gilt für den gemessenen Reinraum, die Reinzone oder eine trennende Einrichtung in einem definierten Belegungszustand. Sie weist nicht jedem Zylinderhub eine maximale Partikelzahl zu. Sie zeigt auch nicht, ob ein gezähltes Partikel aus Stangendichtung, Bedienperson, Kleidung, Prozessmaterial, Führungsschiene, Abluftanschluss oder einer anderen Maschine stammt.

Damit wird ein häufiger Einheitenfehler vermieden. Partikel pro Kubikmeter beschreiben eine Konzentration. Partikel pro Zyklus beschreiben ein normiertes Geräteergebnis. Partikel pro Minute beschreiben eine Quellenrate. Der Übergang zwischen diesen Größen verlangt ein Modell oder eine kontrollierte Prüfung.

ISO 14644-14:2026 behandelt den dazwischenliegenden Geräteschritt. Sie legt eine Methode zur Bewertung von Maschinen, Komponenten, Werkzeugen und Messgeräten nach luftgetragener Partikelkonzentration fest. Der Umfang reicht von 0.1 µm bis 5 µm und größer, legt aber weder Werkstoffauswahl, Reinigbarkeit und Biokontaminationskontrolle noch prozessspezifische Leistung fest (ISO 14644-14, 2026).

Die breitere Spezifikationsgrenze mit Werkstoffen, Fett, Absaugung und Lieferantenunterlagen behandelt der Leitfaden zu Pneumatikzylinderspezifikationen für Reinräume.

Warum sagt Dichtungsverschleiß keine Partikelzahl je Hub voraus?

ISO 21501-4 beschreibt Kalibrier- und Prüfparameter für lichtstreuende Luftpartikelzähler über einen typischen Bereich von 0.1 µm bis 10 µm. Dazu gehören Zähleffizienz, Größeneinstellfehler, Fehlzählung, Probenstromfehler und Probenzeitfehler (ISO 21501-4, 2018). Direktes Zählen ist erforderlich, weil ein Massenverlust diese Informationen nicht enthält.

Eine Schätzung des Massenverlusts zeigt weder, welcher Anteil des Abriebs luftgetragen wird, noch wie Partikel zerbrechen, welche Größen Zählerschwellen überschreiten oder wie viele im Zylinder beziehungsweise in der Prüfkammer abgelagert werden. Sie trennt auch Stangendichtungsabrieb nicht von Abstreifer-, Lager-, Fett-, Stangenoberflächen-, Führungs- oder Prozesspartikeln.

Angenommen, eine Dichtung verliert nach einem langen Versuch eine bekannte Masse. Die Umrechnung dieser Masse in Kugeln verlangt Annahmen zu Materialdichte und Partikelgrößenverteilung. Reale Rückstände sind weder monodispers noch vollkommen kugelförmig. Vor allem erreicht nur ein unbekannter Anteil die beprobte Luft. Eine berechnete Partikelzahl wäre daher stärker von Annahmen als von einer gemessenen Quelle bestimmt.

Dieselbe Vorsicht gilt für veröffentlichte „typische Partikel je Hub“. Ohne vollständige Teilenummer, Partikelschwellen, Hintergrund, Sondenposition, Luftstrom, Geschwindigkeit, Last, Druck, Zykluszahl und Datenbehandlung ist der Wert nicht auf einen anderen Zylinder übertragbar. Verwenden Sie ihn als Untersuchungsansatz und nicht als Auslegungskonstante.

Partikelerzeugungsraten von Stangendichtungen messen

ISO 14644-14:2026 bewertet die Geräteeignung für Partikelgrößen von 0.1 µm bis 5 µm und größer. ISO 21501-4 behandelt Eigenschaften des Zählers für Reinraummessungen. Eine belastbare Zylinderprüfung dokumentiert deshalb Betriebsbereich und Messsystem, statt nur einen unerklärten Wert in Partikeln je Hub auszugeben.

Beginnen Sie mit dem genauen Prüfling. Erfassen Sie Hersteller, vollständige Teilenummer, Kolbendurchmesser, Hub, Dichtungs- und Abstreiferwerkstoffe, Fett, Stangenoberfläche, Führungsanordnung, Sensoren, Anschlüsse und Fertigungsrevision. Geben Sie an, ob der Zylinder neu, eingelaufen, gealtert, gereinigt, nachgeschmiert oder überholt ist.

Steuern Sie anschließend die Bewegung. Erfassen Sie mindestens:

Einbaulage, Nutzlast, Querkraft und aufgebrachtes Moment;
Versorgungsdruck, Geschwindigkeit, Beschleunigung, Verzögerung und Endlagendämpfung;
Hub, Zyklen je Minute, Verweilzeit und kumulierte Gesamtzyklen;
Abluftführung, Vakuum- oder Entlastungsanschlussstrom und Druckluftqualität;
Richtung und Geschwindigkeit des Umgebungsluftstroms, Temperatur und relative Feuchte.

Definieren Sie dann das Probenahmesystem:

Hersteller, Modell, Kalibrierstatus und Partikelgrößenkanäle des Zählers;
Probenstrom, Probendauer oder -volumen, Verdünnung und Koinzidenzkontrollen;
Position, Ausrichtung und Abstand der Sonde von der vermuteten Freisetzungsstelle;
Geometrie von Kammer oder Reinzone und Luftstromweg;
Hintergrundfolge, Betriebsfolge, Wiederholungen und Datenannahmeregeln.

Warum so viele Details? Eine um wenige Zentimeter versetzte Sonde kann eine andere örtliche Fahne erfassen. Ein schnellerer Schlitten verändert mechanischen Verschleiß und Mitreißen. Das Ergebnis gehört zu genau diesem Prüfbereich.

Festo beschreibt ein Verfahren der höchsten Partikelkonzentration mit einer Sonde in laminarer, isokinetischer Strömung und betont, dass die Reinraumeignung von Einbaulage und Betriebsparametern abhängt. Zudem werden geschlossene, überwachte Druckluftsysteme ohne Abluftleckage in die Umgebung vorausgesetzt (Festo, abgerufen 2026).

Wie wird ein hintergrundbereinigtes Ergebnis berechnet?

ISO 21501-4 zählt Probenstrom- und Probenzeitfehler zu den Zählerparametern, die die Anzahlkonzentration beeinflussen. Betriebs- und Hintergrundproben müssen deshalb denselben Größenkanal, dasselbe Volumen, dieselbe Sondenposition und Zeit verwenden, bevor ihre Zählwerte subtrahiert werden (ISO 21501-4, 2018).

Für Rohzählproben mit gleichem Volumen ergibt sich die hintergrundbereinigte Probenzahl je Zyklus zu:

E_{i,\mathrm{sample}} = \frac{N_{i,\mathrm{operating}} - N_{i,\mathrm{background}}}{n_{\mathrm{cycles}}}

$E_{i,\mathrm{sample}}$ ist die im Partikelgrößenkanal $i$ je Zyklus netto gezählte Anzahl. $N_{i,\mathrm{operating}}$ und $N_{i,\mathrm{background}}$ sind Zählwerte aus gleichen Probenvolumina. $n_{\mathrm{cycles}}$ ist die Anzahl vollständiger Antriebszyklen während der Betriebsprobe.

Gibt der Zähler Konzentrationen statt Rohzählwerten aus, verwenden Sie:

E_{i,\mathrm{sample}} = \frac{\left(C_{i,\mathrm{operating}} - C_{i,\mathrm{background}}\right)V_{\mathrm{sample}}}{n_{\mathrm{cycles}}}

Dabei ist $C$ die Partikelzahl pro Kubikmeter und $V_{\mathrm{sample}}$ das beprobte Luftvolumen in Kubikmetern. Das Ergebnis beschreibt weiterhin die Partikel, die je Zyklus in den Probenstrom des Zählers gelangten.

Diese letzte Grenze wird leicht übersehen. Beprobte Partikel je Zyklus sind nicht automatisch die insgesamt emittierten Partikel je Zyklus. Die Umrechnung verlangt ein validiertes Kammererfassungsverfahren, bekannten Luftstrom und bekanntes Mischverhalten oder eine andere dokumentierte Übertragungsbeziehung. Skalieren Sie ein kleines Probenvolumen nicht auf das gesamte Raumvolumen hoch, wenn das Prüfverfahren diese Extrapolation nicht stützt.

Nehmen wir als Beispiel gleiche Probenvolumina mit 570 Zählungen im Betrieb und 120 im Hintergrund bei 100 Zylinderzyklen. Das Nettoergebnis beträgt für diese Größenschwelle und Anordnung 4.5 beprobte Partikel je Zyklus. Geben Sie Wiederholungen und Unsicherheit an, statt den Wert stillschweigend zu einem universellen Emissionsfaktor zu runden.

Erzeugt das Prüfverfahren eine belastbare Gesamtemission je Zyklus, lautet die zugehörige Quellenrate:

G_i = E_i f

$G_i$ ist die Partikelzahl je Minute im Größenkanal $i$ , $E_i$ die validierte emittierte Partikelzahl je Zyklus und $f$ die Zahl vollständiger Zyklen je Minute. Halten Sie Aus- und Einfahren getrennt, wenn sich ihre Freisetzungsmuster unterscheiden.

Quellenraten gegenüber einer Raumgrenze vorprüfen

ISO 14644-2 fordert einen Überwachungsplan auf Grundlage von Parametern, die die luftgetragene Partikelkonzentration messen oder beeinflussen. Luftwechsel je Stunde werden dadurch nicht zu einer Partikelentfernungszahl (ISO 14644-2, 2015). Eine Quellenratenrechnung ist daher ein Vorprüfmodell und kein Nachweis, dass ein eingebauter Raum die Klassifikation besteht.

Für ein gut durchmischtes Einzonen-Vorprüfmodell gilt:

\frac{\mathrm{d}C_i}{\mathrm{d}t} = \frac{G_i}{V} + \frac{Q}{V}C_{i,\mathrm{supply}} - \frac{Q}{V}C_i - k_{i,\mathrm{d}}C_i

$C_i$ ist die Raumkonzentration im Größenkanal $i$ in Partikeln je Kubikmeter, $G_i$ die gesamte interne Quelle je Zeiteinheit, $V$ das Raumvolumen, $Q$ der Zu- und Abluftstrom, $C_{i,\mathrm{supply}}$ die Zuluftkonzentration und $k_{i,\mathrm{d}}$ der Term für Ablagerung oder andere Verluste erster Ordnung.

Im stationären Zustand beträgt die zusätzliche Konzentration durch die Zylinderquelle:

\Delta C_{i,\mathrm{ss}} = \frac{G_i}{Q + k_{i,\mathrm{d}}V}

Diese Beziehung legt die Annahmen offen. Sie benötigt eine Quellenrate für die gesamte Freisetzung in die Zone, ausreichend durchmischte Luft, stabilen Volumenstrom und eine geeignete Verlustschätzung. Eine unidirektionale Reinzone, lokale Absaugung, Gehäuseleckage oder produktnahe Fahne kann sich ganz anders verhalten.

Das Modell eignet sich für Empfindlichkeitsprüfungen. Die Klassifikation im Einbau hängt dennoch von gemessenen Konzentrationen an festgelegten Orten und im geforderten Betriebszustand ab.

Ein sinnvoller Kontaminationshaushalt umfasst auch den vorhandenen Raumhintergrund und alle gleichzeitigen Quellen. Kann ein geringer Mittelwertanstieg im Raum ein Problem am Produkt verdecken? Ja. Das örtliche Risiko kann über dem Mittelwert liegen, wenn der Antrieb im Luftstrom vor einem offenen Produkt angeordnet ist.

Welche ISO-Grenzen gelten bei 0.5 µm?

An der Schwelle 0.5 µm steigt die Höchstkonzentration mit jeder ganzen ISO-Klasse um den Faktor 10: ISO 3 erlaubt 35 Partikel/m³, ISO 4 352 und ISO 5 3,520 (FDA, 2020). Diese Werte dürfen nicht mit der Spalte für 0.1 µm verwechselt werden.

ISO-Klasse	Höchstkonzentration bei ≥0.5 µm
ISO 3	35 Partikel/m³
ISO 4	352 Partikel/m³
ISO 5	3,520 Partikel/m³
ISO 6	35,200 Partikel/m³
ISO 7	352,000 Partikel/m³
ISO 8	3,520,000 Partikel/m³

Die Tabelle ist eine Referenz für die Klassifikation der Raumluft und keine Tabelle zulässiger Zylinderemissionen. Eine Reinraumbewertung benötigt weiterhin festgelegte Probenahmeorte, Mindestprobenvolumen, Betriebszustand und statistische Behandlung nach dem maßgebenden Verfahren.

Frühere Bezeichnungen aus Federal Standard 209E wie „Class 100“ werden in der Industrie noch verwendet. Ihre Vermischung mit ISO-Tabellen kann Einheiten- und Partikelgrößenfehler verdecken. Verwenden Sie in Spezifikationen direkt ISO-Klasse, Partikelschwelle und Grenzwert in Partikeln je Kubikmeter.

Ein vollständiger Auswahlablauf auf Komponentenebene mit Ventilen, Schläuchen und Abluftbehandlung findet sich im Leitfaden für Pneumatikkomponenten in Class-100-Reinräumen.

Welche Zylinderkonstruktionen können die Stangendichtungsquelle verringern?

SMC berichtet, dass eine CYP-Reinkolbenstangenlos-Ausführung die Partikelerzeugung unter angegebenen Prüfbedingungen auf 1/20 der früheren Baureihe 12-CY3B verringerte. Der Katalog bindet das Ergebnis an einen Zylinder CYP32-200, ein 5-kg-Werkstück, 200 mm/s mittlere Geschwindigkeit und Daten bis 500,000 Zyklen und weist darauf hin, dass es nicht garantiert wird (SMC, abgerufen 2026).

So sind Produktdaten richtig zu lesen: als modellspezifischer Nachweis mit Grenzen. Sie beweisen weder, dass jeder magnetisch gekoppelte kolbenstangenlose Zylinder für jede ISO-Klasse sauber genug ist, noch dass sich ein mechanisch gekoppelter Bandzylinder, Führungsschlitten oder elektrischer Antrieb gleich verhält.

Betrachten Sie jeden Freisetzungspfad:

Antriebskonzept	Möglichkeit zur Partikelminderung	Weiterhin erforderlicher Nachweis
Standardzylinder mit Stange	Verschleißarmer Abstreifer, kontrolliertes Fett, glatte Stange, Faltenbalg oder Absaugung am Stangenaustritt	Modellspezifische Partikelprüfung mit repräsentativer Querkraft, Geschwindigkeit und Alterung
Zylinder mit Entlastungs- oder Vakuumabsaugung	Erfasst Partikel nahe der dynamischen Dichtung vor dem Eintritt in die Reinzone	Erforderlicher Absaugstrom, Druckeinfluss, Alarmstrategie und Fehlerzustandsprüfung
Magnetisch gekoppelter kolbenstangenloser Zylinder	Entfernt die freiliegende dynamische Stangendichtung und kann den Druckraum isolieren	Partikeldaten für äußere Führung, Schlitten, Fett, Nutzlast und Lebensdauer
Mechanisch gekoppelter kolbenstangenloser Zylinder	Kurze Baulänge und konfigurierbare äußere Führung	Daten zu Schlitzdichtung, Dichtband, Schlitten, Führung und Abluftfreisetzung
Reinraum-Elektroantrieb	Gekapseltes Gehäuse, staubarme Führung und optionale Absaugung	Daten zu Motor, Bremse, Kabel, Riemen oder Spindel, Fett und vollständigem Bewegungsprofil

Ein Faltenbalg kann eine Quelle einschließen, fügt aber Falten, Reinigungsfragen und einen neuen Fehlermodus hinzu. Vakuumabsaugung kann wirksam sein, jedoch nur bei vorhandenem und richtig geführtem Volumenstrom. Konstruktionsbezeichnungen ersetzen keine Nachweise.

Mechanische Unterschiede erläutert der Leitfaden zur Dichtbandtechnik kolbenstangenloser Zylinder. Für Schmiergrenzen vergleichen Sie den Ansatz ölfreier Zylinder im Reinraum.

Was muss ein Partikelbericht des Lieferanten enthalten?

Das SMC-Beispiel nennt vier Bedingungen, die für eine korrekte Interpretation wesentlich sind: Modell, Nutzlast, mittlere Geschwindigkeit und Beobachtungsfenster von 500,000 Zyklen. Festo ergänzt Einbaulage, Betriebsparameter und Probenahme an der höchsten Partikelkonzentration (SMC, abgerufen 2026; Festo, abgerufen 2026).

Fordern Sie vom Lieferanten:

Hardware: vollständige Teilenummer, Optionen, Dichtungen, Abstreifer, Fett, Führungen, Sensoren, Anschlüsse und Revision.
Betriebsbereich: Druck, Hub, Geschwindigkeit, Beschleunigung, Last, Querkraft, Moment, Ausrichtung, Dämpfung, Verweilzeit und Zyklusrate.
Lebenszykluszustand: Zykluszahlen neu, eingelaufen und gealtert, Reinigung, Nachschmierung, Ersatzteile und Prüfbefunde.
Luftgrenze: Qualität der Zuluft, Abluftführung, Entlastungs- oder Absaugstrom, Leckageannahmen und Kammerluftstrom.
Messsystem: Zähler, Kalibrierung, Partikelkanäle, Probenstrom und -volumen, Sondengeometrie und Kontrolle der Höchstkonzentration.
Datenbehandlung: Hintergrundverfahren, Wiederholungen, Unsicherheit, verworfene Läufe, Vertrauensgrenze und Kennzeichnung als Probenzahlen, Konzentration oder Gesamtemission.

Lehnen Sie einen Bericht ab, der nur „ISO-5-kompatibel“ sagt. Fragen Sie nach getesteter Konfiguration, Sondenposition und angewandter Annahmegrenze. Gibt der Lieferant eine Reinheitsklasse aus einem Kammertest an, bestätigen Sie, dass die Aussage dem Geräteeignungsverfahren folgt und keine pauschale Zertifizierung jeder Installation behauptet.

Verunreinigungen in der Druckluft und Partikelfreisetzung in die Umgebung sind getrennte Grenzen. Spezifizieren Sie Partikel, Wasser und Öl am maßgebenden Verwendungsort mit dem ISO-8573-1-Rahmen für Druckluftqualität und führen Sie Abluft so, dass sie die Reinheitsstrategie nicht umgeht.

Wie sollte die Wartung die Berechnung beeinflussen?

ISO 14644-2 behandelt Überwachungspläne für den Klassifikationsbereich 0.1 µm bis 5 µm und stützt sie auf Parameter, die die luftgetragene Konzentration messen oder beeinflussen (ISO 14644-2, 2015). Sie schreibt kein einziges Dichtungswechselintervall vor, weil Verschleiß von Antrieb, Last, Geschwindigkeit, Ausrichtung, Umgebung und Betriebshistorie abhängt.

Leiten Sie die Wartungsgrenze aus Nachweisen ab. Erfassen Sie Partikelergebnisse für den akzeptierten neuen oder eingelaufenen Zustand und wiederholen Sie die maßgebende Messung nach einer definierten Zykluszahl oder Betriebszeit. Verknüpfen Sie Partikeltrends mit Leckage, Stangenzustand, Führungsspiel, Abstreiferzustand, Geschwindigkeit und Druck.

Bewerten Sie neu nach:

Austausch von Dichtung, Abstreifer, Fett, Führung, Stange, Schlitten oder Dichtband;
Änderungen an Geschwindigkeit, Beschleunigung, Nutzlast, Querkraft, Befestigung oder Dämpfung;
geänderter Absaugung, Abluft, Druckluftaufbereitung oder Umgebungsströmung;
Änderungen an Reiniger, Temperatur oder Feuchte;
Partikelabweichungen, ungewöhnlicher Leckage, Klemmen, Riefen oder sichtbaren Rückständen.

Warten Sie nicht auf eine allgemeine Zykluszahl, wenn der Zähler eine anhaltende Veränderung zeigt. Ersetzen Sie umgekehrt nicht alle drei Monate eine Dichtung, ohne dass Daten belegen, dass dieses Intervall das tatsächliche Risiko beherrscht. Der Wartungsplan soll einen gemessenen Zustand erhalten und keine überlieferte Regel wiederholen.

Die Checkliste zur vorbeugenden Wartung kolbenstangenloser Zylinder enthält die mechanischen Prüfungen, die mit Partikeltrends verbunden werden sollten.

Fazit

Die Grenze der ISO Klasse 5 von 3,520 Partikeln/m³ bei 0.5 µm beschreibt eine Luftkonzentration und keine allgemeine zulässige Stangendichtungsemission (FDA, 2020). Berechnen Sie zuerst hintergrundbereinigte Probenzahlen, wandeln Sie sie nur mit einem validierten Verfahren in Gesamtemissionen um und bestätigen Sie die eingebaute Reinzone getrennt.

Der praktische Ablauf ist kurz: genauen Antrieb identifizieren, unter repräsentativen und ungünstigsten plausiblen Bedingungen prüfen, Probenahmegrenze erhalten, Ergebnis ehrlich normieren, Raumeinfluss mit offengelegten Annahmen vorprüfen und reale Maschine im geforderten Betriebszustand bestätigen.

Dieser Ansatz kann eine weniger eindrucksvolle Zahl liefern als eine theoretische Verschleißrechnung. Er führt jedoch zu einer wesentlich brauchbareren Entscheidung.

Häufig gestellte Fragen zur Partikelerzeugung von Stangendichtungen

ISO 14644-14:2026 bewertet die Geräteeignung für Partikelgrößen von 0.1 µm bis 5 µm und größer, während ISO 14644-1 die Luft an festgelegten Orten klassifiziert (ISO, 2026). Die folgenden Antworten halten Komponentenmessen, technische Schätzung und Raumklassifikation in ihren richtigen Rollen.

Lässt sich die Partikelerzeugung einer Stangendichtung aus ihrem Verschleiß berechnen?

Nicht zuverlässig. Verschleißmasse bestimmt weder Partikelgrößenverteilung, luftgetragenen Anteil und Ablagerung noch den vom Zähler erfassten Anteil. Messen Sie Betriebs- und Hintergrundproben mit derselben Anordnung und normieren Sie das Nettoergebnis auf vollständige Zyklen. Verwenden Sie Massenverlust als ergänzenden Verschleißnachweis und nicht als Ersatz für Luftpartikelzählung.

Was ist die richtige Grenze der ISO Klasse 5 bei 0.5 µm?

Die Höchstkonzentration beträgt 3,520 Partikel/m³ für Partikel ab 0.5 µm. Der Wert ist eine Klassifikationsgrenze der Raumluft und keine zulässige Emissionsrate je Zylinder. Die Klassifikation muss den geforderten Probenahmeorten, Probenvolumina, Belegungszuständen und der Datenbehandlung folgen.

Sind beprobte Partikel je Zyklus dasselbe wie insgesamt emittierte Partikel je Zyklus?

Nein. Ein Partikelzähler misst nur die Luft, die in seinen Probeneinlass gelangt. Die Umrechnung von Probenzahlen in die gesamte Geräteemission verlangt ein validiertes Kammer- oder Strömungsverfahren, das den Probenstrom mit der vollständigen Freisetzung verbindet. Ohne diese Beziehung ist das Ergebnis als hintergrundbereinigte beprobte Partikel je Zyklus zu kennzeichnen.

Ist ein kolbenstangenloser Zylinder automatisch für ISO Klasse 5 geeignet?

Nein. Das Entfernen einer freiliegenden Stangendichtung kann eine Partikelquelle beseitigen. Führungen, Schlitten, Dichtbänder, Fett und angeschlossene Ausrüstung können dennoch Partikel freisetzen. Die Eignung muss durch modellspezifische Daten für Einbaulage, Nutzlast, Geschwindigkeit, Lebenszykluszustand, Luftstrom und Partikelschwellen belegt werden.

Wann sollte eine Partikelprüfung an einem Reinraumzylinder wiederholt werden?

Wiederholen oder bewerten Sie die Prüfung neu, wenn Dichtungen, Fett, Führungen, Befestigung, Nutzlast, Geschwindigkeit, Absaugung, Abluft, Reinigungschemie oder nahe Luftströmung geändert werden. Partikelabweichungen, ungewöhnliche Leckage, Riefen, Klemmen und sichtbare Rückstände sind ebenfalls Auslöser. Legen Sie Routineintervalle aus gemessenen Alterungsdaten statt aus einer universellen Monats- oder Zyklusgrenze fest.

Quellen und technische Referenzen

ISO 14644-1:2015, Klassifikation der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration. Abgerufen am 2026-07-26.
ISO 14644-2:2015, Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung. Abgerufen am 2026-07-26.
ISO 14644-14:2026, Geräteeignung anhand luftgetragener Partikelkonzentration. Abgerufen am 2026-07-26.
ISO 21501-4:2018, Kalibrierung und Prüfung lichtstreuender Luftpartikelzähler. Abgerufen am 2026-07-26.
FDA compounding guidance, ISO-Klassengrenzen ab 0.5 µm. Abgerufen am 2026-07-26.
Festo cleanroom guidance, Verfahren der höchsten Partikelkonzentration und Anwendungsgrenzen. Abgerufen am 2026-07-26.
SMC CYP clean rodless-cylinder catalog, modellspezifische Partikeldaten, Prüfbedingungen und Grenzen. Abgerufen am 2026-07-26.

Reinraumklassen berechnen: Partikelerzeugungsraten von Stangendichtungen

Jason Tan