클린룸 등급 계산: 로드 씰 입자 발생률 | 벱토 뉴매틱, 벱토 인더스트리얼의 공압 제품 라인

로드 씰의 입자 발생률은 정해진 시간이나 사이클 횟수 동안 씰의 움직임으로 발생한 공기 중 입자 수에서 배경 입자 수를 보정한 값입니다. 씰 재질, 압력, 스트로크 길이만으로는 이 값을 산출할 수 없습니다. 제어된 시험 환경에서 실제 적용할 실린더를 측정하고, 결과와 함께 운전 조건과 샘플링 조건을 기록해야 합니다.

이 구분이 중요한 이유는 ISO 클린룸 등급이 지정된 위치의 공기 중 입자 농도 한계를 나타내기 때문입니다. 실린더의 스트로크당 허용 입자 수를 일률적으로 정한 값이 아닙니다. 구성품 시험 경계와 실제 설치된 클린룸 경계를 가정을 숨기지 않고 연결해야 구성품 시험 결과를 제대로 활용할 수 있습니다.

핵심 요점

ISO Class 5는 0.5 µm 이상 입자를 3,520 particles/m³까지 허용합니다(FDA, 2020).

이론적인 씰 마모량이 아니라 배경 입자 수를 보정한 측정값으로 사이클당 입자 수를 계산해야 합니다.

샘플링된 입자 수와 장비의 총 배출 입자 수를 구분해야 합니다.

실제 설치 공간은 지정된 위치와 요구되는 운전 상태에서 확인해야 합니다.

이 문제는 증거의 연결 고리로 구성하면 가장 명확합니다. 먼저 액추에이터가 방출하는 입자를 측정합니다. 다음으로 그 입자원이 주변 공기에 미칠 수 있는 영향을 모델링합니다. 마지막으로 실제 청정 구역을 등급 분류하거나 모니터링합니다. 각 단계는 서로 다른 질문에 답합니다.

공간 등급, 구성품 입자 시험, 공학적 입자원 모델은 서로 연결되지만 상호 대체할 수 있는 증거는 아닙니다.

ISO 클린룸 등급은 실제로 무엇을 측정하나요?

ISO 14644-1은 0.1 µm부터 5 µm까지 선택한 입경 임계값별 누적 농도를 기준으로 공기를 분류합니다. 0.5 µm 이상 입자의 경우 ISO Class 5는 3,520 particles/m³, ISO Class 6는 35,200 particles/m³까지 허용합니다(ISO 14644-1, 2015; FDA, 2020).

이 등급은 정해진 점유 상태에서 측정한 클린룸, 청정 구역 또는 분리 장치에 적용됩니다. 각 실린더 스트로크에 하나의 최대 입자 수를 배정하지 않으며, 계수된 입자가 로드 씰, 작업자, 작업복, 공정 재료, 가이드 레일, 배기구 또는 다른 기계 중 어디에서 발생했는지도 알려 주지 않습니다.

이 점을 알면 흔한 단위 오류를 피할 수 있습니다. 입방미터당 입자 수는 농도를 나타냅니다. 사이클당 입자 수는 정규화한 장비 시험 결과를 나타내고, 분당 입자 수는 입자원 발생률을 나타냅니다. 이 수량 사이를 변환하려면 모델이나 제어된 시험이 필요합니다.

ISO 14644-14:2026은 그동안 빠져 있던 장비 평가 단계를 다룹니다. 이 표준은 기계류, 구성품, 공구, 측정 장비가 공기 중 입자 농도 측면에서 적합한지 평가하는 방법을 규정합니다. 적용 범위는 0.1 µm부터 5 µm 이상까지이지만, 재료 선정, 세정성, 생물 오염 제어 또는 공정별 성능을 규정하지는 않습니다(ISO 14644-14, 2026).

재료, 그리스, 흡입, 공급업체 문서를 포함한 더 넓은 사양 범위는 클린룸용 공압 실린더 사양 안내서를 참고하십시오.

씰 마모만으로 스트로크당 입자 발생량을 예측할 수 없는 이유는 무엇인가요?

ISO 21501-4는 일반적으로 0.1 µm부터 10 µm까지 측정하는 광산란식 공기 중 입자 계수기의 교정 및 검증 항목을 설명합니다. 여기에는 계수 효율, 입경 설정 오차, 허위 계수, 샘플링 유량 오차, 샘플링 시간 오차가 포함됩니다(ISO 21501-4, 2018). 마모 질량만으로는 이런 정보를 알 수 없으므로 직접 계수해야 합니다.

질량 감소량 추정으로는 마모 물질 중 공기 중에 부유하는 양, 입자가 쪼개지는 방식, 계수기의 임계값을 넘는 입경, 실린더나 시험 챔버 내부에 침착되는 수량을 알 수 없습니다. 또한 로드 씰의 마모 입자를 와이퍼, 베어링, 그리스, 로드 표면, 가이드 또는 주변 공정에서 발생한 입자와 구분할 수도 없습니다.

장시간 시험 후 씰의 질량 감소량을 알고 있다고 가정해 보겠습니다. 이 질량을 구형 입자 수로 변환하려면 재료 밀도와 입도 분포를 가정해야 합니다. 실제 마모 분진은 단분산 입자도, 완전한 구형도 아닙니다. 더 중요한 것은 그중 얼마가 샘플 공기에 도달하는지 알 수 없다는 점입니다. 따라서 계산된 입자 수는 측정한 입자원보다 가정에 의해 좌우됩니다.

공개된 ‘일반적인 스트로크당 입자 수’에도 같은 주의가 필요합니다. 전체 품번, 입경 임계값, 배경 입자, 프로브 위치, 기류, 속도, 하중, 압력, 사이클 횟수, 데이터 처리 방법이 없으면 해당 수치를 다른 실린더에 적용할 수 없습니다. 설계 상수가 아니라 추가 조사를 위한 단서로 사용하십시오.

로드 씰의 입자 발생률 측정 방법

ISO 14644-14:2026은 0.1 µm부터 5 µm 이상까지의 입경을 대상으로 장비 적합성을 평가하며, ISO 21501-4는 청정 공간 측정에 사용하는 계수기의 특성을 다룹니다. 따라서 신뢰할 수 있는 실린더 시험은 근거 없이 스트로크당 입자 수 하나만 제시하는 대신 운전 범위와 측정 시스템을 모두 기록해야 합니다.

먼저 정확한 시험 대상품을 정합니다. 제조사, 전체 품번, 보어, 스트로크, 씰 및 와이퍼 재질, 그리스, 로드 표면 마감, 가이드 구성, 센서, 피팅, 생산 리비전을 기록하십시오. 실린더가 신품인지, 길들이기 운전을 마쳤는지, 노화되었는지, 세척·재윤활·재조립되었는지도 명시해야 합니다.

다음으로 동작 조건을 제어합니다. 최소한 다음 항목을 기록하십시오.

장착 방향, 가반 하중, 횡하중, 적용 모멘트
공급 압력, 속도, 가속, 감속, 종단 쿠셔닝
스트로크 길이, 분당 사이클 수, 정지 시간, 총 누적 사이클 수
배기 배관, 진공 또는 릴리프 포트 유량, 압축 공기 품질
주변 기류의 방향과 속도, 온도, 상대 습도

그다음 샘플링 시스템을 정의합니다.

계수기 제조사, 모델, 교정 상태, 입경 채널
샘플링 유량, 샘플 지속 시간 또는 체적, 희석 및 동시 계수 제어
입자 방출이 의심되는 위치를 기준으로 한 프로브의 위치, 방향, 거리
챔버 또는 청정 구역의 형상과 내부 기류 경로
배경 측정 순서, 운전 측정 순서, 반복 횟수, 데이터 채택 기준

왜 이렇게 많은 정보가 필요할까요? 프로브를 몇 센티미터만 옮겨도 다른 국소 입자운을 측정할 수 있습니다. 캐리지 속도가 빨라지면 기계적 마모와 입자의 기류 유입이 모두 달라질 수 있습니다. 시험 결과는 해당 시험 범위에만 속합니다.

Festo는 층류의 등속 기류에서 프로브를 사용하는 최고 입자 농도 측정법을 설명하며, 클린룸 적합성은 설치 위치와 운전 조건에 따라 달라진다고 강조합니다. 또한 환경으로 배기가 누출되지 않는 폐쇄형 감시 압축 공기 시스템을 전제로 합니다(Festo, 2026년 확인).

배경 입자 수를 보정한 결과는 어떻게 계산하나요?

ISO 21501-4는 수 농도에 영향을 주는 계수기 항목에 샘플링 유량 오차와 샘플링 시간 오차를 포함합니다. 따라서 운전 샘플과 배경 샘플의 계수값을 빼기 전에 동일한 입경 채널, 체적, 프로브 위치, 측정 시간을 적용해야 합니다(ISO 21501-4, 2018).

샘플 체적이 같은 원시 계수값에는 다음과 같은 간단한 배경 보정 사이클당 샘플 입자 수를 사용할 수 있습니다.

E_{i,\mathrm{sample}} = \frac{N_{i,\mathrm{operating}} - N_{i,\mathrm{background}}}{n_{\mathrm{cycles}}}

여기서 $E_{i,\mathrm{sample}}$ 은 입경 채널 $i$ 에서 사이클당 계수된 순 입자 수이고, $N_{i,\mathrm{operating}}$ 과 $N_{i,\mathrm{background}}$ 은 같은 샘플 체적에서 측정한 입자 수이며, $n_{\mathrm{cycles}}$ 는 운전 샘플 측정 중 액추에이터가 완료한 전체 사이클 수입니다.

계수기가 원시 계수값 대신 농도를 보고한다면 다음 식을 사용합니다.

E_{i,\mathrm{sample}} = \frac{\left(C_{i,\mathrm{operating}} - C_{i,\mathrm{background}}\right)V_{\mathrm{sample}}}{n_{\mathrm{cycles}}}

이 식에서 $C$ 는 입방미터당 입자 수이고, $V_{\mathrm{sample}}$ 은 입방미터 단위의 샘플 공기 체적입니다. 결과는 여전히 사이클당 계수기의 샘플 유로로 들어온 입자 수를 나타냅니다.

이 마지막 경계는 놓치기 쉽습니다. 사이클당 샘플링된 입자 수가 곧바로 사이클당 총 배출 입자 수가 되는 것은 아닙니다. 두 값을 변환하려면 검증된 챔버 포집 방법, 알려진 기류와 혼합 거동 또는 문서화된 다른 전달 관계가 필요합니다. 시험 방법이 외삽을 뒷받침하지 않는다면 작은 샘플 체적의 결과를 전체 공간 체적으로 단순 확대하지 마십시오.

예시 계산으로, 동일 체적의 샘플에서 운전 중 570개, 배경에서 120개가 계수되고 그동안 실린더가 100사이클을 완료했다고 가정하겠습니다. 해당 입경 임계값과 시험 구성에서 사이클당 순 샘플 결과는 4.5개입니다. 반복 시험 결과와 불확도를 함께 보고하고, 이 값을 모든 조건에 적용되는 배출 계수로 임의 반올림하지 마십시오.

시험 방법으로 신뢰할 수 있는 사이클당 총 배출량을 구했다면 해당 입자원 발생률은 다음과 같습니다.

G_i = E_i f

여기서 $G_i$ 는 입경 채널 $i$ 의 분당 입자 수이고, $E_i$ 는 검증된 사이클당 배출 입자 수이며, $f$ 는 분당 완료 사이클 수입니다. 전진과 후퇴의 방출 양상이 다르면 각각 구분하십시오.

공간 한계에 대한 입자원 발생률 선별 평가

ISO 14644-2는 공기 중 입자 농도를 측정하거나 이에 영향을 주는 매개변수를 바탕으로 모니터링 계획을 수립하도록 요구합니다. 시간당 환기 횟수를 입자 제거 개수로 바꾸는 표준은 아닙니다(ISO 14644-2, 2015). 따라서 입자원 발생률 계산은 선별 평가 모델일 뿐, 실제 설치 공간이 등급 분류에 합격한다는 증거가 아닙니다.

완전 혼합 단일 구역 선별 모델은 다음과 같습니다.

\frac{\mathrm{d}C_i}{\mathrm{d}t} = \frac{G_i}{V} + \frac{Q}{V}C_{i,\mathrm{supply}} - \frac{Q}{V}C_i - k_{i,\mathrm{d}}C_i

여기서 $C_i$ 는 입경 채널 $i$ 의 공간 농도(particles/m³), $G_i$ 는 단위 시간당 총 내부 입자원, $V$ 는 공간 체적, $Q$ 는 급기 및 배기 유량, $C_{i,\mathrm{supply}}$ 는 급기 입자 농도, $k_{i,\mathrm{d}}$ 는 침착 또는 기타 1차 손실을 나타냅니다.

정상 상태에서 실린더 입자원으로 인한 증분 농도는 다음과 같습니다.

\Delta C_{i,\mathrm{ss}} = \frac{G_i}{Q + k_{i,\mathrm{d}}V}

이 관계식은 전제 조건을 분명히 보여 줍니다. 구역으로의 총 방출량을 나타내는 입자원 발생률, 상당히 균일하게 혼합된 공기, 안정적인 유량, 적절한 손실 추정값이 필요합니다. 단방향류 청정 구역, 국소 배기 포집, 인클로저 누출 또는 제품 인근의 입자운은 매우 다르게 거동할 수 있습니다.

이 모델은 민감도 검토에 유용하지만, 실제 설치 공간의 등급 분류는 여전히 지정된 위치와 요구되는 운전 상태에서 측정한 농도를 기준으로 합니다.

합리적인 오염 예산에는 기존 공간의 배경 농도와 동시에 작동하는 모든 입자원도 포함해야 합니다. 공간 평균 증분 농도가 낮아도 제품 위치의 문제가 가려질 수 있을까요? 그렇습니다. 액추에이터가 노출된 제품의 상류에 있으면 국소 위험이 평균보다 클 수 있습니다.

0.5 µm에서 ISO 한계는 얼마인가요?

0.5 µm 임계값에서 최대 농도는 ISO 등급이 한 단계 올라갈 때마다 10배씩 증가합니다. ISO 3은 35 particles/m³, ISO 4는 352 particles/m³, ISO 5는 3,520 particles/m³까지 허용합니다(FDA, 2020). 이 값을 0.1 µm 열의 수치와 혼동해서는 안 됩니다.

ISO 등급	≥0.5 µm에서 최대 농도
ISO 3	35 particles/m³
ISO 4	352 particles/m³
ISO 5	3,520 particles/m³
ISO 6	35,200 particles/m³
ISO 7	352,000 particles/m³
ISO 8	3,520,000 particles/m³

이 표는 공간 공기의 등급 분류 기준이며, 실린더의 허용 배출량 표가 아닙니다. 클린룸을 평가하려면 적용 절차에서 요구하는 지정 샘플링 위치, 최소 샘플 체적, 운전 상태, 통계 처리 방법이 필요합니다.

‘Class 100’과 같은 과거 Federal Standard 209E 명칭은 지금도 업계에서 쓰이지만, 이를 ISO 표에 섞으면 단위와 입경 오류를 놓칠 수 있습니다. 사양서에는 ISO 등급, 입경 임계값, 입방미터당 입자 수 한계를 직접 기재하십시오.

밸브, 튜브, 배기 처리를 포함한 전체 구성품 선정 절차는 Class 100 클린룸용 공압 구성품 안내서를 참고하십시오.

어떤 실린더 설계가 로드 씰 입자원을 줄일 수 있나요?

SMC는 CYP 클린 로드리스 실린더 구성 중 하나가 명시된 시험 조건에서 기존 12-CY3B 시리즈 대비 입자 발생량을 1/20로 줄였다고 보고합니다. 카탈로그에는 CYP32-200 실린더, 5 kg 작업물, 평균 속도 200 mm/s, 500,000사이클까지의 데이터라는 조건이 명시되어 있으며, 이 성능은 보증값이 아니라고 설명합니다(SMC, 2026년 확인).

제품 데이터는 이렇게 읽어야 합니다. 적용 경계가 있는 모델별 증거로 해석해야 합니다. 이 결과만으로 모든 마그네틱 커플링 로드리스 실린더가 모든 ISO 등급에서 충분히 청정하다고 입증할 수 없습니다. 기계식 밴드형 로드리스 실린더, 가이드 슬라이드 또는 전동 액추에이터가 같은 성능을 보인다는 증거도 아닙니다.

각 방출 경로를 검토하십시오.

액추에이터 방식	입자 제어 방안	추가로 필요한 증거
표준 로드 실린더	저마모 와이퍼, 관리된 그리스, 매끄러운 로드, 벨로즈 또는 로드 출구 인근 포집	대표 횡하중, 속도, 노화 상태를 반영한 모델별 입자 시험
릴리프 또는 진공 흡입 기능이 있는 실린더	동적 씰 부근에서 입자가 청정 구역으로 유입되기 전에 포집	필요한 흡입 유량, 압력 영향, 경보 전략, 고장 상태 시험
마그네틱 커플링 로드리스 실린더	노출된 동적 로드 씰을 없애고 압력 챔버를 격리 가능	외부 가이드, 캐리지, 그리스, 가반 하중, 수명 주기 입자 데이터
기계식 커플링 로드리스 실린더	짧은 설치 길이와 구성 가능한 외부 가이드	슬롯 씰, 씰링 밴드, 캐리지, 가이드, 배기 방출 데이터
클린룸용 전동 액추에이터	밀폐형 본체, 저발진 가이드, 선택형 포집 기능	모터, 브레이크, 케이블, 벨트 또는 스크루, 그리스, 전체 동작 프로파일 데이터

벨로즈는 한 입자원을 가둘 수 있지만 주름부, 세척 문제, 새로운 고장 형태가 추가됩니다. 진공 포집은 효과적일 수 있지만 유량이 유지되고 올바른 경로로 배출될 때만 그렇습니다. 설계 명칭이 증거를 대신하지는 않습니다.

기계적 차이는 로드리스 실린더 씰링 밴드 기술 안내서를 참고하십시오. 윤활 적용 경계는 클린룸에서 무급유 실린더를 사용하는 방법과 비교해 보십시오.

공급업체의 입자 보고서에는 무엇이 포함되어야 하나요?

SMC 사례는 결과를 올바르게 해석하는 데 실질적인 제한이 되는 네 가지 조건, 즉 모델, 가반 하중, 평균 속도, 500,000사이클 관찰 구간을 공개합니다. Festo는 클린룸 지침에서 설치 위치, 운전 조건, 최고 입자 농도 샘플링을 추가로 제시합니다(SMC, 2026년 확인; Festo, 2026년 확인).

공급업체에 다음 항목을 명시하도록 요청하십시오.

하드웨어: 전체 품번, 옵션, 씰, 와이퍼, 그리스, 가이드, 센서, 피팅, 리비전
운전 범위: 압력, 스트로크, 속도, 가속, 하중, 횡하중, 모멘트, 방향, 쿠셔닝, 정지 시간, 사이클 속도
수명 주기 상태: 신품, 길들이기 및 노화 사이클 수, 세척, 재윤활, 교체 부품, 검사 결과
공기 경계: 공급 공기 품질, 배기 배관, 릴리프 또는 흡입 유량, 누설 가정, 챔버 기류
측정 시스템: 계수기, 교정, 입경 채널, 샘플 유량과 체적, 프로브 형상, 최대 농도 제어
데이터 처리: 배경 측정 방법, 반복 시험, 불확도, 제외된 시험, 신뢰 한계, 결과가 샘플 계수값·농도·총 배출량 중 무엇인지

‘ISO 5 호환’이라고만 적힌 보고서는 받아들이지 마십시오. 어떤 구성을 시험했는지, 프로브를 어디에 배치했는지, 어떤 합격 한계를 적용했는지 질문하십시오. 공급업체가 챔버 시험을 근거로 청정도 등급을 보고한다면, 그 등급 설명이 장비 적합성 평가 방법을 따르는지, 모든 설치 조건에 대한 포괄적 인증을 암시하지는 않는지 확인해야 합니다.

압축 공기의 오염도와 환경으로 방출되는 입자는 서로 다른 경계입니다. ISO 8573-1 압축 공기 품질 체계를 사용해 관련 사용 지점의 입자, 수분, 오일을 규정하고, 공기 경로가 청정도 관리 전략을 우회하지 않도록 배기를 제어하십시오.

정비를 계산에 어떻게 반영해야 하나요?

ISO 14644-2는 0.1 µm부터 5 µm까지의 등급 분류 범위에 대한 모니터링 계획을 다루며, 공기 중 농도를 측정하거나 이에 영향을 주는 매개변수를 바탕으로 계획을 수립하도록 합니다(ISO 14644-2, 2015). 액추에이터, 하중, 속도, 정렬, 환경, 사용 이력에 따라 마모 상태가 달라지므로 하나의 씰 교체 주기를 규정하지는 않습니다.

근거를 바탕으로 정비 한계를 설정하십시오. 승인된 신품 또는 길들이기 상태의 입자 시험 결과를 기준으로 정한 다음, 규정한 사이클 수나 사용 시간이 지난 뒤 해당 측정을 반복합니다. 입자 변화 추세를 누설, 로드 상태, 가이드 유격, 와이퍼 상태, 속도, 압력 데이터와 함께 평가하십시오.

다음과 같은 경우에는 재평가하십시오.

씰, 와이퍼, 그리스, 가이드, 로드, 캐리지 또는 씰링 밴드 교체
속도, 가속, 가반 하중, 횡하중, 장착 또는 쿠셔닝 변경
흡입, 배기, 공급 공기 처리 또는 주변 기류 변경
세정제, 온도 또는 습도 변경
입자 수 일탈, 비정상 누설, 걸림, 긁힘 또는 육안으로 보이는 이물 발생

계수기에 지속적인 변화가 나타난다면 일반적인 사이클 수가 찰 때까지 기다리지 마십시오. 반대로 3개월이라는 교체 주기가 실제 위험을 제어한다는 데이터도 없이 씰을 정기 교체해서는 안 됩니다. 정비 계획은 관행적으로 물려받은 규칙을 반복하는 것이 아니라 측정으로 확인한 상태를 유지해야 합니다.

로드리스 실린더 예방 정비 체크리스트에서 입자 변화 추세와 함께 확인해야 할 기계 점검 항목을 살펴볼 수 있습니다.

결론

ISO Class 5의 0.5 µm 기준 3,520 particles/m³ 한계는 공기 중 농도를 나타내며 모든 로드 씰에 적용되는 일률적인 허용량이 아닙니다(FDA, 2020). 먼저 배경 입자 수를 보정한 샘플 계수값을 계산하고, 검증된 방법이 있을 때만 이를 총 배출량으로 변환하며, 실제 설치된 청정 구역은 별도로 확인하십시오.

실무 절차는 간결합니다. 정확한 액추에이터를 식별하고, 대표 조건과 합리적으로 예상되는 최악 조건에서 시험하고, 샘플링 경계를 보존하고, 결과를 정직하게 정규화하고, 명시한 가정으로 공간 영향을 선별 평가한 다음, 실제 기계를 요구되는 운전 상태에서 확인합니다.

이 방법으로 얻은 값은 이론적 마모 계산보다 덜 극적으로 보일 수 있습니다. 그러나 의사결정에는 훨씬 유용합니다.

로드 씰 입자 발생 FAQ

ISO 14644-14:2026은 0.1 µm부터 5 µm 이상까지의 입경에 대한 장비 적합성을 평가하고, ISO 14644-1은 지정된 위치의 공기를 분류합니다(ISO, 2026). 아래 답변에서는 구성품 측정, 공학적 추정, 공간 등급 분류를 각각 올바른 역할로 구분합니다.

씰 마모량으로 로드 씰 입자 발생량을 계산할 수 있나요?

신뢰성 있게 계산할 수 없습니다. 마모 질량으로는 입도 분포, 공기 중 부유 비율, 침착량 또는 계수기에 포집되는 비율을 알 수 없습니다. 같은 시험 구성으로 운전 샘플과 배경 샘플을 측정한 다음, 두 값의 차이를 완료된 사이클 수로 정규화하십시오. 질량 감소 데이터는 마모를 뒷받침하는 증거로만 사용하고 공기 중 입자 계수를 대신해서는 안 됩니다.

0.5 µm에서 올바른 ISO Class 5 한계는 얼마인가요?

0.5 µm 이상 입자의 최대 농도는 3,520 particles/m³입니다. 이 값은 공간 공기 등급 분류 한계이지 실린더당 허용 배출률이 아닙니다. 등급 분류는 요구되는 샘플링 위치, 샘플 체적, 점유 상태, 데이터 처리 방법을 따라야 합니다.

사이클당 샘플링 입자 수는 사이클당 총 배출 입자 수와 같은가요?

아닙니다. 입자 계수기는 샘플 흡입구로 들어온 공기만 측정합니다. 샘플 계수값을 장비의 총 배출량으로 변환하려면 샘플 유로와 전체 방출량의 관계를 규정한 검증된 챔버 또는 기류 측정법이 필요합니다. 이 관계가 없다면 결과를 사이클당 순 샘플 입자 수로 표시하십시오.

로드리스 실린더는 자동으로 ISO Class 5에 적합한가요?

아닙니다. 노출된 로드 씰을 없애면 입자원 하나를 제거할 수 있지만 가이드, 캐리지, 씰링 밴드, 그리스, 연결 장비에서도 입자가 발생할 수 있습니다. 설치 위치, 가반 하중, 속도, 수명 주기 상태, 기류, 입경 임계값에 대한 모델별 데이터로 적합성을 뒷받침해야 합니다.

클린룸 실린더 입자 시험은 언제 반복해야 하나요?

씰, 그리스, 가이드, 장착, 가반 하중, 속도, 흡입, 배기, 세정제 또는 주변 기류를 변경한 뒤에는 시험을 반복하거나 재평가하십시오. 입자 수 일탈, 비정상 누설, 긁힘, 걸림, 육안으로 보이는 이물도 재시험 사유입니다. 일률적인 개월 수나 사이클 한계 대신 측정한 노화 데이터를 바탕으로 정기 시험 주기를 설정하십시오.

출처 및 기술 참고문헌

ISO 14644-1:2015, 입자 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류. 2026년 7월 26일 확인.
ISO 14644-2:2015, 클린룸 성능을 입증하기 위한 모니터링. 2026년 7월 26일 확인.
ISO 14644-14:2026, 공기 중 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가. 2026년 7월 26일 확인.
ISO 21501-4:2018, 광산란식 공기 중 입자 계수기의 교정 및 검증. 2026년 7월 26일 확인.
FDA 조제 지침, 0.5 µm 이상 입자에 대한 ISO 등급 한계. 2026년 7월 26일 확인.
Festo 클린룸 지침, 최고 입자 농도 측정법과 적용 경계. 2026년 7월 26일 확인.
SMC CYP 클린 로드리스 실린더 카탈로그, 모델별 입자 데이터, 시험 조건, 제한 사항. 2026년 7월 26일 확인.

클린룸 등급 계산: 로드 씰의 입자 발생률

Jason Tan