パイロット作動弁の性能に対する背圧の影響

SMCの一つの弁シリーズが0.15-0.7 MPaのパイロット圧を指定する理由、背圧が切替力を下げる仕組み、各制御ポートを安全に試験する方法を解説します。

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Eric Zhou, 空圧制御システムエンジニア, ベプト空圧

著者について

Eric Zhou

空圧制御システムエンジニア

Ericです。ベプト空圧の空圧制御システムエンジニアとして、見積前の空圧製品要件、部品用途、技術詳細の確認を支援します。

著者の記事Eric@bepto.com

背圧は、パイロットまたは主作動部を動かす圧力差を小さくすると、パイロット作動弁の意図した動作を遅らせたり、阻止したり、逆方向へ戻したりすることがあります。 影響は、弁の構造と圧力が蓄積するポートによって異なります。供給圧に対する一律の割合で、すべての弁を説明することはできません。

SMCのSYJ資料はこの点をよく示しています。外部パイロット式のあるシリーズでは、主圧力を-100 kPaから0.7 MPaまで許容する一方、外部パイロットポートには0.15-0.7 MPaを要求します。主配管圧力とパイロット圧力は、一つの比率ではなく別々の受入条件です(SMC SYJ300/500/700マニュアル、2026年参照)。

要点

  • SMCのSYJシリーズの一つでは、外部パイロット圧力として0.15-0.7 MPaが必要です。
  • 圧力が主出口、共通排気、パイロット排気、対向パイロット室のどこにあるかを特定します。
  • 動的な測定値を、対象弁の正確なデータシートと比較します。
  • 供給圧の60%や80%を、すべての弁に共通する故障しきい値とみなしてはいけません。

このガイドでは、弁レベルの限定された問い、つまり背圧がパイロット力、スプール切替、マニホールドの相互作用をどう変えるかに焦点を当てます。設備やアクチュエータの排気制限については、空圧システムの背圧に関する総合ガイドから始めてください。二段式弁の構造については、パイロット作動弁の動作原理ガイドを参照してください。

ここでいうパイロット作動弁とは、独立した制御段を持つソレノイド式またはエアパイロット式の方向制御弁、あるいはプロセス弁を指します。パイロット作動チェック弁は、パイロット圧力で負荷保持用のチェック要素を解除するもので、故障境界は異なります。

パイロット作動弁内部の圧力境界

ASCOは、3ポートおよび4ポートのパイロット弁について、圧力ポートと排気ポートの間の最低作動圧力差を定義し、完全に切り替えるには作動サイクル全体でその差を維持する必要があると説明しています。この定義により、有効な圧力差と弁の最高使用圧力を区別できます(ASCO技術情報、2026年参照)。

まず、実際に問題を引き起こしている圧力境界を特定します。背圧という言葉は、次の4つの異なる状態を指す場合があります。

圧力の位置 代表的なポートまたは通路 圧力が対抗する対象
主出口圧力 2/2プロセス弁の出口 主作動部を開く、または保持する入口-出口間の圧力差
主排気圧力 方向制御弁のポート3と5 シリンダの排気流れ、および場合によっては内部パイロット排気
パイロット排気圧力 PE、82/84、または専用パイロットベント パイロットピストン、ダイヤフラム、またはスプール端部からの排出
対向パイロット圧力 ダブルパイロット弁のポート12または14 反対側端部に指令されたパイロット力

どの圧力が最初に変化したのか?

同じゲージ値でも、4つの位置では結果が異なります。フローティングダイヤフラム弁の出口圧力は、主段の圧力差を小さくします。方向制御弁の排気ギャラリー内の圧力は、シリンダの排出を遅らせることがあります。また、パイロット回路に作用したり、別のステーションへ空気を押し込んだりすることもあります。分離されたパイロットベントの圧力は、弁の切替機構により近い位置で作用します。

主空圧ポートと電気式パイロットオペレータを備えたパイロット作動式方向制御ソレノイドバルブ

ソレノイドパイロット式方向制御弁には、小さな制御段と、より大きな主流路段があります。圧力経路を分けて診断してください。

意味のある試験結果には、1つではなく2つの名称が必要です。圧力を測定した位置と、観測した出力です。「スプールがストロークを完了できないとき、パイロット排気で0.08 MPa」は対策につながります。「背圧は20%」では不十分です。基準圧力、弁の状態、影響を受けた段が隠れているからです。

背圧はなぜ切替を遅らせたり、阻止したりするのか?

ASCOのSeries 316取扱説明書は、圧力と排気の間に最低差圧を要求し、両方の配管を全断面で、詰まりのない状態に保つよう指定しています。このメーカー警告が機構を説明しています。排気圧力が上昇すると、動く弁要素を加速する力の余裕が小さくなります(ASCO Series 316取扱説明書、2017年)。

弁の実際の受圧面積が分かっているなら、簡略化した力の釣合いが役立ちます。

Fpilot=pdriveAdrivepoppAoppFspringFfrictionF_{\mathrm{pilot}} = p_{\mathrm{drive}} A_{\mathrm{drive}} - p_{\mathrm{opp}} A_{\mathrm{opp}} - F_{\mathrm{spring}} - F_{\mathrm{friction}}

FpilotF_{\mathrm{pilot}} は、パイロットピストン、ダイヤフラム、またはスプールを動かすために利用できる正味の力です。圧力 pdrivep_{\mathrm{drive}}poppp_{\mathrm{opp}} は同じ基準で扱い、パスカルで測定します。面積 AdriveA_{\mathrm{drive}}AoppA_{\mathrm{opp}} は平方メートル、ばね力と摩擦力はニュートンで表します。

背圧は poppp_{\mathrm{opp}} を上昇させるか、主段で利用できる圧力差を小さくします。力の余裕が低下すると、次のような結果が起こり得ます。

  • 遅延の増大: ばねの初期荷重と静止摩擦を上回るだけの圧力不均衡が生じるまで、要素が待機します。
  • 不完全な切替: スプールは動きますが、全流量位置まで到達しません。コイルが励磁されていてもアクチュエータは遅く見え、下流の速度制御設定が原因と誤認されることがあります。
  • 復帰失敗: 閉じ込められたパイロット圧力が復帰機構に対抗します。
  • チャタリングまたは切替の繰り返し: 圧力パルスが切替しきい値を何度も横切り、要素が往復します。
  • クロスアクチュエーション: 共通排気ギャラリーからの圧力パルスが、別の弁またはアクチュエータ回路へ伝わります。

応答時間は背圧だけから予測できません。ASCOの技術ガイドによれば、応答は弁サイズ、作動方式、電気仕様、媒体、温度、入口圧力、圧力降下にも左右されます。そのため、弁が静的なベンチ試験には合格しても、機械上ではタイミングを外すことがあります。

この力のモデルは診断用の地図であり、メーカーが示す内部受圧面積の代わりではありません。面積が公開されていない場合は、面積比を推測せず、外部圧力、コイル電流、可能ならスプールフィードバック、最終的なポート応答を測定してください。

安全な背圧に一律の割合がないのはなぜか?

Parkerのisys Hサービスデータでは、弁のサイズと機能に応じて内部パイロットの最低圧力を173~345 kPa、外部パイロットの範囲を310-1,000 kPaとしています。これらの型式固有の値は、供給圧の60%や80%という一律の上限が成り立たないことを示します(Parker isys H、2026年参照)。

許容される出口圧力または排気圧力は、少なくとも次の5つの設計変数に依存します。

  1. 主作動部の形式:スプール、ダイヤフラム、ピストン、ポペット。
  2. 要素の両側にある受圧面積。要素がストロークする間に変化する面積も含みます。
  3. パイロットエアが内部、外部、リモートのいずれであるか。
  4. 弁とマニホールドで、パイロット排気と主排気が共通か分離されているか。
  5. ばね力、シール摩擦、中立状態、必要な最終位置。

FestoのVUVS資料にも同じ型式依存性が示されています。弁機能により内部パイロットの作動圧力は1.5または2.5 barから始まり、外部パイロット仕様では正のパイロット圧力を維持しながら、主回路を-0.9 barまで運転できます(Festo VUVS/VTUS、2026年)。

では、エンジニアは何%を使えばよいのでしょうか。メーカーが対象の弁と条件について明示していない限り、割合は使いません。記載された最低パイロット圧力、最低作動差圧、許容出口圧力、パイロット排気条件、流量特性を使います。データシートに出口背圧の上限がなければ、書面で確認するか、意図した条件で完成した組立品を試験してください。

境界を示さない割合は、使いものになりません。

排気クリーナの上限を弁にそのまま移してはいけません。たとえば、旧版のSMC AMC排気クリーナカタログは、その付属品について背圧0.1 MPa以下での使用を指定しています。これは上流側のすべての弁に対する普遍的な上限を示すものではありません(SMC AN/AMCカタログ、2026年参照)。

内部パイロット回路と外部パイロット回路はどう異なるのか?

FestoのVUVG資料では、弁によって内部パイロット範囲を1.5-8、2.5-8、または3-8 barとし、外部パイロットエアはポート12/14から入ると説明しています。また、ベント穴またはマニホールドダクト82/84からパイロット排気を行うことも示しています(Festo VUVG/VTUG、2019年)。

内部パイロット弁は、主供給から制御用エアを取ります。設置はコンパクトですが、パイロット力は供給圧に追従します。高速アクチュエータや容量不足の供給経路では、ポート1がパイロット最低圧力を下回ることがあります。ソフトスタート弁や共有需要によって、スプールを切り替える瞬間に一時的な圧力低下が生じた場合も同じです。これに対して外部パイロット弁は、別のポートから制御圧力を受け取ります。別系統のパイロット供給とパイロット排気が正しく接続されていれば、主回路を低圧または真空で作動できます。外部パイロットでも背圧の影響がなくなるわけではありません。制御境界が専用ポートへ移るだけです。

SMCはこの違いを明確にしています。SYJの外部パイロット例では、主圧力を-100 kPaから0.7 MPaまで許容し、外部パイロットは0.15-0.7 MPaに保ちます。したがって主回路は、その主圧力をパイロット源に使わず、真空から正圧までをまたいで運転できます。

構成 供給への依存 排気リスク 最適な診断測定
内部パイロット、共通排気 パイロット力はポート1に追従 主排気がパイロット排出を乱す可能性 切替中のポート1とポート3/5
内部パイロット、パイロット排気分離 パイロット力はポート1に追従 専用ベントも詰まる可能性 ポート1とPEまたは82/84
外部パイロット、共通排気 パイロット供給は独立 主排気がパイロット復帰に影響する可能性 パイロットポート、ポート3/5、スプール応答
外部パイロット、排気分離 制御経路が最も分離される PE配管ミスや圧力パルスは残る パイロット供給とパイロット排気を同時に測定

試験を決めるのはポート構成です。

外観だけでポート番号を判断しないでください。空圧記号、マニホールドプレート、発注コード、マニュアルを確認します。誤ったPEまたは82/84接続にプラグを取り付けると、安定した外部パイロット設計が間欠故障に変わることがあります。

マニホールド排気の背圧は、いつクロスアクチュエーションを起こすのか?

SMCは、SYのパイロット弁と主弁が共通の内部排気を使うことを示し、排気ポートを塞がないよう指示しています。現行のSYカタログでは、他の弁からの排気によるアクチュエータやエア作動弁の誤動作を、背圧チェック弁で防ぐことも説明しています(SMC SYマニュアル、2026年参照)。

共有マニホールドは、複数の大きな室が同時に排気すると最も影響を受けやすくなります。合成された過渡流量がダクト3と5の圧力を上昇させます。そのパルスはパイロット排気通路へ到達したり、弁の接続面を越えて漏れたり、指令していない弁の作動ポートへ空気を押し込んだりすることがあります。ソレノイドの状態変化で別の軸が動くため、電気的な故障に見えることもあります。Festoの2026年VTUS資料は、排気圧力が高い場合の排気圧力分離を推奨し、各圧力ゾーンに少なくとも1枚の供給プレートを要求しています。また、パイロットエアダクト12と14では圧力ゾーン分離を利用できないため、セパレータを指定する前にマニホールド構成を確認する必要があるとしています(Festo VUVS/VTUS、2026年)。

パイロット作動式方向制御弁の診断用圧力境界 縦方向の診断マップで、主供給、パイロット駆動、パイロット排気、主排気、観測した弁応答を分けて示します。 各圧力境界を一つの時間軸で測定する 主供給:ポート1 圧力は内部パイロット最低値を上回っているか? パイロット駆動:ポート12または14 指令した圧力は弁に届いているか? パイロット排気:PEまたは82/84 対向パイロット室は自由に排気できるか? 主排気:ポート3と5 共有流量パルスが制御段に届いていないか? コイル、スプール、圧力、アクチュエータのタイミングを比較する
排気ゲージ1台だけでは、すべての故障経路を特定できません。同じイベント中に、供給、パイロット駆動、パイロット排気、主排気、弁応答を記録してください。

1台だけで動かす弁は正常に見えることがあります。別のステーションが排気したときだけ故障が現れるなら、遅れた最初のソレノイドを交換するより、同時の弁指令とマニホールド圧力を記録すべき強い根拠になります。

故障時には、どこで圧力を測るべきか?

ISO 6358-1は、圧縮性流れを扱う空圧部品の定常試験を定義し、2026年のAmendment 2は測定の不確かさを扱っています。機械の切替は過渡現象なので、カタログ流量データは同期した圧力・指令波形と組み合わせ、完全な動的試験の代わりとみなしてはいけません(ISO 6358-1、2013年;Amendment 2、2026年)。

十分な圧力範囲と帯域幅を持つセンサを使い、すべてのチャンネルを一つのクロックにそろえます。最低限、次を測定します。

  • バルブコネクタの電気指令;
  • 表示LEDから推測せず、報告された故障中に測定した実際のコイル電圧または電流;
  • 弁のポート1圧力;
  • 使用する場合はポート12または14の外部パイロット圧力;
  • PEまたは82/84のパイロット排気圧力。長いチューブの末端ではなく、できれば弁またはマニホールドで測定します;
  • ポート3と5、またはマニホールド排気出口の主排気圧力;
  • スプールフィードバック、作動ポート圧力、流量、アクチュエータ動作などの応答信号。

圧力の取り出し口は弁の近くに設置します。コンプレッサ室のゲージでは、マニホールドで60 msだけ発生する圧力崩落を捉えられません。同様に、応答の遅い機械式ゲージでは、別のステーションをクロスアクチュエーションさせる短い排気パルスが隠れます。試験記録にはセンサ範囲、サンプルレート、取り出し容積、チューブ長、フィルタ設定を記載します。経験上、最も早く答えに近づけるのは、コイル電流、パイロット圧力、排気圧力、スプールまたはアクチュエータ位置の4つの波形をそろえることです。電流波形が正常なのにパイロット圧力が崩れるなら、空圧制御経路が疑われます。パイロット圧力が安定しているのにスプールが遅れるなら、弁内部の摩擦、汚染、損傷を疑います。

センサ1個だけでは、ほとんどの場合不十分です。

不具合が発生する条件で試験します。予想される最低供給圧力と最大同時排気需要を含めます。通常の作動温度、取り付けたサイレンサ、実際のサイクル速度を維持してください。切り離したベンチ上の弁では、共有排気マニホールドを再現できません。

切替が遅い、または間欠的な場合の診断手順

SMCは、SYマニホールドのあるシリーズで、外部パイロットのPE接続を大気へ開放し、他の機器からの圧力パルスがない状態に保つよう要求しています。この一つの指示から、まずコイル、タイマ、PLCロジックを変更する前にパイロット排気を確認するという、有効な診断優先順位が得られます(SMC SY取付マニュアル、2026年参照)。

指令から出力までの圧力経路を追います。

  1. 正確な弁コードを確認する。 まず機能とパイロット仕様を特定します。その後、対象の発注コードに示された復帰方式、中立状態、マニホールドプレート、専用パイロット排気ポートをすべて記録します。
  2. 電気指令を確認する。 故障中のコイル電圧と電流を測定します。LEDが点灯しても、コイル力が十分だとは限りません。
  3. 動的な供給圧力を確認する。 最も速い需要イベント中のポート1を、メーカーの内部パイロット最低圧力と比較します。
  4. パイロット駆動圧力を測定する。 外部パイロット弁では、主回路に負荷をかけた状態でポート12または14を確認します。
  5. パイロット排気を測定する。 PEまたは82/84のチューブや継手の詰まりを確認します。そのベントに接続されたサイレンサ、チェック弁、共有圧力経路も点検します。
  6. 主排気を測定する。 弁を単独で動かした場合と同時に動かした場合を比較します。別ステーションの排気中だけ現れるスパイクは、同じ時間軸で弁応答が変化するなら、マニホールド相互作用の証拠です。
  7. 制限を一つずつ分離する。 安全な一時構成を使い、サイレンサ、リモート排気チューブ、マニホールド出口、流量制御を試験します。
  8. 弁の点検は最後に行う。 外部の圧力故障を除外してから、症状を内部汚染、シール膨潤、スプール損傷、ばねの弱りに帰属させます。

圧力経路以外のコイル、コネクタ、スプール、汚染、漏れを確認するには、ソレノイドバルブのトラブルシューティングガイドを使います。指令を変えた後も圧力が残る場合は、サイレンサ詰まりのガイドと照合してください。

故障を再現するために安全装置を迂回しないでください。ISO 4414:2010は、設置、調整、保守、信頼できる作動を含む、空圧システムとその部品の安全要求事項を定めています。排気経路を開く前に、機械の隔離、残留エネルギー、再起動手順を適用してください(ISO 4414、2021年に現行であることを確認)。

排気制限はどのように是正すべきか?

SMCは、ソレノイドバルブより有効面積の大きいサイレンサを選定し、詰まりによって排気速度とシステム性能が低下した場合は交換するよう助言しています。これは部品固有のサイズ選定則であり、大きいサイレンサなら必ず回路を解決できるという意味ではありません(SMC ANサイレンサカタログ、2026年参照)。

故障した境界を直します。

意図した機械制御を取り除かず、測定で確認された制限を是正します。

検出事項 推奨する是正 検証
サイレンサの詰まり 弁の排気流量に合う適合品へ交換 前後の排気圧力とサイクル時間を比較
長い、または容量不足のリモート排気 内径を大きくし、配管を短くするか、承認済みの排気プレートを追加 最大同時流量を試験
共有マニホールドのパルス 給気・排気プレートの追加、圧力ゾーンの分離、または指定チェック弁の使用 クロスアクチュエーション試験を再実施
パイロット排気の閉塞 文書どおりにPEまたは82/84の経路を復元 外部パルスのない、ほぼ大気圧の排出を確認
内部パイロット圧力の崩落 供給コンダクタンスを改善するか、許可される場合は外部パイロットを選ぶ 最低設備圧力でパイロット圧力を確認
プロセス弁の過大な下流圧力 出口制限を減らすか、必要な差圧に対応する弁を選ぶ 全作動範囲を確認

クイックエキゾースト弁は万能薬ではありません。アクチュエータの排気経路を短くできますが、メータアウト速度制御を迂回したり、停止挙動を変えたりする可能性があります。また、パイロット排気の問題を残したまま、新たな騒音や汚染への露出を生むこともあります。追加する前に、クイックエキゾースト弁の物理ガイドを確認してください。正しい対策は、圧力境界に従います。PE圧力が切替失敗の原因なら、主排気チューブを大きくしても効果がないかもしれません。ポート3と5に共有過渡圧力が現れるなら、コイルを交換しても効果がないかもしれません。一つの境界だけを変更し、同じ負荷試験を繰り返して、変更前後の波形を保存します。

近道として設備の供給圧力を上げないでください。供給圧を上げれば一時的にパイロット力を増やせますが、排気質量とエネルギー消費も増え、次の圧力パルスを大きくする可能性があります。関連する圧力損失トラブルシューティングガイドが、まず最大の制限を特定すべき理由を説明しています。

選定および試運転の要件

Festoの2026年VTUSカタログは、1つの構成で最大16個の弁位置を許容し、排気圧力が高い場合はセパレータを推奨しています。ステーション数が多いこと自体が問題とは限りませんが、マニホールドと排気ゾーンを発注する前に、同時流量の条件を定義する必要があります(Festo VUVS/VTUS、2026年)。

制御経路と流量経路を分けて仕様化します。

  • メーカー名と弁の完全な発注コード;
  • 弁の機能と流れ方向;
  • 内部または外部のパイロット供給と許容圧力範囲;
  • パイロットポート12/14とパイロット排気ポートPEまたは82/84。選択したマニホールドプレート内でこれらの通路をどう配管するかも含めます;
  • 使用するすべての弁状態について、最低作動差圧と最大出口または排気圧力;
  • ポート1、作動ポート、排気ポートの流量特性;
  • マニホールドのステーション数、中立状態、復帰方式、弁の同時作動;
  • 圧力ゾーン、給気プレート、排気プレート、チェック弁、サイレンサ;
  • チューブサイズと長さ;
  • 継手とリモート排気配管。サイレンサまたは排気集合部付近の縮小部も含めます;
  • 媒体、ろ過等級、温度、デューティサイクル、取付方向;
  • 必要な切替時間と、その測定方法;
  • 電源、供給圧力、またはパイロット圧力を失ったときの安全状態。

試運転には、単独作動と同時作動を含めます。最低供給条件、最悪アクチュエータ負荷、最大排気需要、コールドスタート、熱平衡、故障復帰を記録します。無負荷のベンチで10回正しく切り替わっただけでは、生産受入試験に合格したことにはなりません。ISO 6358のデータで定常コンダクタンスを比較しますが、動的受入判定は分けて扱います。同規格のPart 1方法は、シリンダや流量係数が不安定な部品を対象外としています。アクチュエータ力への影響を確認するには、弁のデータを測定なしで負荷に拡張せず、シリンダの背圧による力損失ガイドを使ってください。RFQでは、メーカーにすべての割合の基準を明示するよう求めます。供給圧、作動差圧、パイロット圧力、定格スパンのどれに基づく値でしょうか。答えが不明確なら、その割合では用途を守れません。

パイロット作動弁の背圧FAQ:エンジニアが確認すべきこと

Parkerのisys Hデータでは、記載された機能とサイズにわたって内部パイロット最低圧力が173-345 kPaに及び、Festoも製品ごとに異なる範囲を公開しています。次の5つの回答は、一律の背圧割合ではなく、選択した弁に結び付けて診断するためのものです(Parker; Festo、2026年参照)。

パイロット作動弁は、背圧が何%になると故障しますか?

一律の割合はありません。Parkerはisys Hの機能について173~345 kPaの異なる内部パイロット最低圧力を示し、SMCとFestoも別の範囲を公開しています。動的負荷の下で、対象弁の完全な型式に対する最低差圧、パイロット圧力範囲、出口上限、排気指示を使ってください(Parker、2026年参照)。

外部パイロットエアで背圧の問題をなくせますか?

いいえ。SMCのSYJ例でも外部パイロット圧力として0.15-0.7 MPaが必要で、パイロット排気は正しく排出されなければなりません。別のSMCマニュアルでは、PE接続を圧力パルスのない大気圧に保つよう求めています。主排気がアクチュエータ流量を制限したり、別のマニホールドステーションと干渉したりすることもあります(SMC、2026年参照)。

別のシリンダが動くときだけ弁が故障するのはなぜですか?

同時排気によって共有マニホールドのダクト内圧が上昇することがあります。Festoの2026年VTUSカタログは最大16個の弁位置を許容し、排気圧力が高い場合はゾーン分離を推奨しています。両方のシリンダを動かしながら指令とポート3、5の圧力を記録し、相互作用を確認してください(Festo、2026年)。

弁を試験するためにサイレンサを外してもよいですか?

管理された一時試験なら制限を特定できる場合がありますが、排気は安全に保つ必要があります。SMCは1つのAMC排気クリーナ用途について0.1 MPaを上限とし、詰まったサイレンサは交換するよう説明しています。この付属品の上限は普遍的な値ではありません。試験後は適切な騒音・異物対策を復元してください(SMC、2026年参照)。

弁の受入試験では、どの圧力を記録すべきですか?

ポート1、装着時の外部パイロットポート12または14、パイロット排気PEまたは82/84、主排気ポート3と5、制御出力を記録します。最低供給圧力と最大同時排気需要の条件で、コイル電流およびスプールまたはアクチュエータの応答と比較してください(SMC、2026年参照)。

出典と技術資料

  1. SMC、SY3000/5000/7000 弁作動マニュアル。2026-07-22取得。
  2. SMC、SY3000/5000 取付・保守マニュアル。2026-07-22取得。
  3. SMC、SYJ300/500/700 取付・保守マニュアル。2026-07-22取得。
  4. SMC、SYシリーズWebカタログ。2026-07-22取得。
  5. SMC、ANサイレンサおよびAMC排気クリーナカタログ。2026-07-22取得。
  6. Festo、ソレノイドバルブVUVSおよびバルブマニホールドVTUS、2026/05。2026-07-22取得。
  7. Festo、ソレノイドバルブVUVGおよびバルブターミナルVTUG、2019/06。2026-07-22取得。
  8. Parker、isys Hシリーズ取付・サービス手順。2026-07-22取得。
  9. Emerson ASCO、Series 316 パイロット作動ソレノイドバルブ手順、2017年。2026-07-22取得。
  10. Emerson ASCO、ソレノイドバルブ技術情報。2026-07-22取得。
  11. ISO 6358-1、空圧部品の定常流量特性、2013年。2026-07-22取得。
  12. ISO 6358-1:2013/Amd 2、測定の不確かさの評価、2026年。2026-07-22取得。
  13. ISO 4414、空気圧流体動力の安全要求事項、2010年。2026-07-22取得。