클린룸 공압 그리퍼는 안정적이고 반복 가능한 파지를 유지하면서 오염 위험을 줄일 때 전자 제조 품질을 높일 수 있습니다. 개선 효과는 단순한 ‘무급유’ 표시에서 나오지 않습니다. 시험된 그리퍼 구성을 클린룸 등급, 제품 민감도, 설치 위치, 동작 프로파일, 압축 공기 품질, 세정 공정에 맞추는 데서 나옵니다.
이 가이드는 죠 그리퍼와 그 엔드 오브 암 툴링만 다룹니다. 전체 클린룸 공압 체인은 다루지 않습니다. 아직 죠 구조를 정하지 않았다면 아래의 클린룸 검토를 적용하기 전에 평행형, 앵귤러형 및 기타 공압 그리퍼 유형을 비교하십시오.
FDA 지침은 운전 중 중요 구역의 ISO 5를 0.5 µm 이상 입자 3,520개/m³ 이하와 연결합니다(FDA 무균 공정 지침, 2004). 이 한계는 환경을 설명합니다. 그리퍼에는 여전히 모델별 근거와 설치 후 시험이 필요합니다. 시스템 전체의 선정 경계는 더 폭넓은 Class 100 클린룸 공압 구성품 가이드를 참고하십시오.
핵심 요점
- FDA 지침의 ISO 5는 0.5 µm 이상 입자를 3,520개/m³까지 허용합니다.
- 클린룸 등급이 그리퍼를 인증하는 것은 아닙니다.
- 질량, 가속도, 마찰, 죠 수, 안전 계수를 바탕으로 파지력을 선정합니다.
- 설치된 기계에서 오염과 운동을 함께 검증합니다.
이 구분은 중요합니다.
그리퍼에서 ’클린룸 인증’은 실제로 무엇을 의미합니까?
ISO 14644-14:2026은 0.1 µm부터 5 µm 이상까지의 입자 크기에 대해 장비 방출을 평가합니다. ’클린룸 인증’이라는 표현은 지정된 그리퍼 구성이 운전 조건, 샘플링 형상, 배경 농도, 입자 크기를 모두 명시한 상태에서 평가됐다는 뜻이어야 합니다. 클린룸 등급만으로 구성품을 인증할 수 없습니다(ISO 14644-14, 2026).
ISO 14644-1은 클린룸 또는 청정 구역의 부유 입자 농도를 분류합니다. 입자의 화학적, 물리적, 방사선학적 또는 생물학적 성격을 규정하지 않는다고 명시합니다(ISO 14644-1, 2015). Part 14는 장비 적합성 평가 방법을 제공하지만 세정성, 재질 선정, 생물 오염, 정전기 특성, 공정 성능 최적화는 제외합니다. 하나의 인증서로 이 모든 공백을 메울 수는 없습니다.
유용한 주장은 근거의 적용 범위를 명확히 밝힙니다.
장비 적합성은 지정된 구성이 기록된 조건에서 정의된 입자 또는 화학 물질 한계를 충족한다는 시험 기반 설명입니다.
| 주장 항목 | 유용한 근거 |
|---|---|
| 정확한 구성 | 모델, 크기, 핑거, 씰, 그리스, 센서, 피팅, 개정 번호 |
| 운전 상태 | 압력, 속도, 부하, 가속도, 설치 방향, 사이클 수, 길들이기 상태 |
| 입자 시험 | 입자 크기, 계수기, 프로브 위치, 챔버, 배경값, 시험 시간, 측정 결과 |
| 화학 시험 | 대상 물질, 온도, 컨디셔닝 시간, 검출 한계, 결과 |
| 설치 경계 | 노출 제품과의 위치, 기류 방향, 배기 경로, 케이블 배치 |
| 공정 경계 | 세정 약품, 접촉 시간, ESD 요구사항, 제품 접촉 여부, 허용 한계 |
클린룸 등급과 장비 입자 결과는 서로 다른 허용 예산입니다. 화학 물질 방출은 또 다른 예산이고 제품 취급은 네 번째입니다. 그리퍼는 한 항목을 통과하고 다른 항목에서 실패할 수 있습니다. 각각을 분리하면 저입자 주장을 세정성이나 ESD 안전으로 오해하지 않으며 취급 손상도 계속 확인할 수 있습니다.
현장 경험상 취약한 클린룸 주장을 가장 빨리 가려내는 방법은 정확한 시험 부품 번호와 설치 위치를 묻는 것입니다. 이어서 샘플링 형상과 운전 범위를 요청하십시오. 이 네 항목을 채우게 하면 모호한 주장의 한계가 드러납니다.
그리퍼 오염은 어디에서 발생합니까?
SMC MHZ2 카탈로그는 접두 번호 11과 22의 두 가지 클린 사양을 구분합니다. 각각 다른 그리스와 재질 조건을 지정하므로 오염 위험은 정확한 씰, 가이드, 윤활제, 배기, 핑거, 케이블, 정비 상태에 따라 달라집니다(SMC MHZ2 클린 시리즈, 2026년 확인). 일반적인 표시는 이런 차이를 보여 주지 못합니다.
움직이는 인터페이스부터 시작하십시오.
노출된 구성품에서 엔드 오브 암 툴링까지 각 경로를 추적합니다. 죠 가이드의 입자 발생은 눈에 띄기 쉽습니다. 배기 공기는 국부 기류를 흐트러뜨릴 수 있고 케이블 피복은 입자를 발생시킬 수 있습니다. 부적합한 세정제는 즉각적인 고장 없이 씰을 손상시킬 수 있습니다. 예를 들어 장시간 사이클 운전 후 성능은 새 샘플의 결과와 다를 수 있습니다.
| 오염 경로 | 방출 또는 전이 가능한 오염 | 확인할 내용 |
|---|---|---|
| 핑거 및 접촉 패드 | 마모 분진, 접착제 잔류물, 도금 입자, 끼인 제품 파편 | 패드 재질, 접촉 압력, 교체성, 세정 방법, 검사 한계 |
| 가이드 및 베어링 | 미끄럼 마모, 정렬 불량, 충격, 그리스 이동 | 부하 모멘트, 핑거 길이, 속도, 백래시, 윤활제, 입자 데이터 |
| 씰 및 내부 그리스 | 씰 분진, 오일 미스트, 휘발성 또는 응축성 물질 | 정확한 씰 및 그리스 사양, 온도, 압력, 방출 근거 |
| 포트 및 배기 | 오일, 수분, 배관 파편, 소음기 섬유, 교란된 기류 | 사용 지점 공기 품질, 원격 배기, 필터 등급, 배압, 누설 |
| 센서 및 케이블 | 피복 마모, 열, 접착제, 커넥터 파편 | 케이블 재질, 굽힘 반경, 스위치 위치, 세정성, 포장 |
| 정비 작업 | 공구, 교체 부품, 그리스 양, 개봉 포장 | 통제 절차, 승인 소모품, 추적성, 재검증 조건 |
ISO 14644-15:2026은 부유 화학 물질 농도를 기준으로 장비와 재질의 적합성을 다룹니다. 세정제 호환성과 세정성은 제외합니다. 생물 오염, 공정별 요구사항, 장비 설계도 범위 밖입니다(ISO 14644-15, 2026). 따라서 저입자 결과만으로 모든 그리스나 엘라스토머를 승인할 수 없습니다. 접착제와 케이블도 공정별 검토가 필요합니다.
적용 업무에서 배기 경로와 정비 상태는 상세한 구성품 비교에서도 가장 자주 누락되는 두 항목이었습니다. 두 항목 모두 최초 샘플 시험 이후 달라질 수 있습니다.
’무급유’도 신중하게 표현해야 할 경계입니다. 일반적으로 정기적인 외부 윤활이 필요하지 않다는 뜻이지, 공장 충전 그리스가 없거나 오염을 전혀 발생시키지 않는다는 뜻이 아닙니다. 무급유 실린더 클린룸 가이드는 리니어 액추에이터에서 같은 차이를 설명합니다.
전자 부품을 손상시키지 않으면서 파지력을 어떻게 선정합니까?
NIST는 표준 중력 가속도를 9.80665 m/s²로 정의합니다. 이 값은 마찰 파지 계산의 중력 항에 사용되지만 선정한 힘은 기계 가속도, 설치 방향, 마찰 불확실성, 타당한 안전 계수도 포함해야 하며 부품 손상 한계를 넘으면 안 됩니다(NIST SI 가이드, 2026년 확인).
힘은 하나의 목표값이 아니라 허용 범위입니다.
수직 마찰 파지에서 부하가 균등하게 분담된다고 가정하면 죠당 최소 수직력은 다음 식으로 추정할 수 있습니다.
Fjaw ≥ m(g + a)S / (μn)
각 항은 다음을 뜻합니다.
- **Fjaw**는 죠당 필요한 수직력(N)입니다.
- m은 죠가 잡은 캐리어를 포함한 이동 질량(kg)입니다.
- g는 표준 중력 추정값 9.80665 m/s²입니다.
- a는 미끄럼 방향으로 작용하는 최악의 가속도 성분입니다.
- S는 마찰과 공정 불확실성을 고려해 정당화한 안전 계수입니다.
- μ는 실제 접촉면에서 시험한 마찰 계수입니다.
- n은 마찰력을 제공하는 죠 수입니다.
파지력 허용 범위는 미끄럼을 방지하는 최소 힘과 허용할 수 없는 부품 손상 또는 변형을 피하는 최대 힘 사이에서 검증된 범위입니다.
0.20 kg 어셈블리가 5 m/s²로 수직 이동하고, 죠가 2개이며, 시험한 마찰 계수가 0.30이고, 안전 계수가 2라고 가정해 보겠습니다. 1차 계산 결과는 죠당 약 9.9 N입니다. 이것은 하한입니다. 상한은 대표 부품을 사용한 접촉 압력, 굽힘, 구성품 간극, 손상 시험에서 정해야 합니다.
카탈로그의 닫힘 힘을 그대로 대입하지 마십시오. 카탈로그 힘은 압력과 파지 지점 거리에 따라 달라질 수 있으며 긴 핑거는 추가 모멘트와 처짐을 만듭니다. 표시값이 죠당인지 전체인지, 열림 또는 닫힘 시 적용되는지 확인하십시오. 그런 다음 가속, 비상 정지, 부품 공차, 패드 마모, 공급 압력 변화 전 구간에서 필요한 여유를 유지하는 최저 압력을 시험합니다.
힘만이 운동 기준은 아닙니다. 한 MHZ2 클린 시리즈 카탈로그는 해당 제품군의 반복 정밀도를 ±0.01 mm, 최대 작동 빈도를 분당 180사이클로 제시하지만, 이 값이 취약한 부품에 허용되는 응력을 정의하지는 않습니다(SMC MHZ2 클린 시리즈, 2026년 확인). 죠 위치, 부품 탄성, 접근 속도, 정지 시간, 해제 동작을 각각 확인하십시오.
설치된 엔드 오브 암 툴링을 검증하십시오
SMC 클린 시리즈 평가법은 ISO Class 5 상당 벤치에서 28.3 × 10⁻³ m³/min의 유량으로 30분간 샘플링하고 95% 신뢰 상한을 적용합니다. 설치된 툴링은 실제 속도, 부하, 설치 방향, 배기 경로, 배경 농도에서 다시 검증해야 합니다(SMC 클린 시리즈, 2026년 확인).
공급업체의 챔버 시험은 가치 있는 통제 비교입니다. 그러나 실제 기계는 더 긴 핑거와 측하중을 추가할 수 있습니다. 더 큰 가속도, 다른 케이블 캐리어, 인접한 밸브 배기 또는 제품 입자도 더해질 수 있습니다. 프로브는 다른 기류 경로에 있을 수 있습니다. 노출된 웨이퍼 방향으로 원격 배기 튜브가 향한다면 카탈로그 시험이 이를 포착할 수 있겠습니까? 설치 후 평가만이 답할 수 있습니다.
구성품이 아니라 기계를 시험하십시오.
한 번의 합격/불합격 입자 계수 대신 단계별 검증을 사용합니다.
| 단계 | 운전 조건 | 기록할 내용 |
|---|---|---|
| 배경 | 기계 정지, 그리퍼 설치 상태 | 클린룸 상태, 기류, 프로브 위치, 입자 크기, 배경 농도 |
| 길들이기 | 새 핑거, 씰, 케이블, 피팅 | 사이클 수, 속도, 압력, 부하, 입자 추세, 누설, 가시 잔류물 |
| 정상 생산 | 대표 부품과 레시피 | 입자 결과, 파지 오류, 부품 손상, 반복 정밀도, 압력, 사이클 시간 |
| 신뢰할 수 있는 최악 운동 | 승인된 최대 속도, 가속도, 부하, 핑거 모멘트 | 미끄럼 여유, 충격, 처짐, 입자 피크, 배기 영향, 회복 |
| 유지보수 상태 | 정비 전과 승인된 정비 후 | 마모, 그리스 상태, 교체 부품, 세정 상태, 재검증 결과 |
청정도와 취급 품질을 같은 시험에서 검증하십시오. 더 느린 동작 프로파일은 입자를 줄일 수 있지만 택트 타임 목표를 놓칠 수 있습니다. 더 큰 힘은 낙하를 방지하지만 커넥터 하우징에 흔적을 남길 수도 있습니다. 원격 배기는 제품을 보호하지만 추가 배압으로 해제가 늦어지면 안 됩니다. 하나의 시험 매트릭스로 생산 인수 전에 이러한 상호작용을 확인할 수 있습니다.
동작에도 같은 원칙이 적용됩니다. 그리퍼 요구사항을 자동 PCB 조립의 공압 적용 가이드와 비교한 뒤 구성품 등급과 기계 레시피를 하나의 근거 범위 안에서 관리하십시오.
어떤 유지보수가 클린룸 성능을 유지합니까?
ISO 14644-13:2026은 입자 농도 기준의 표면 청정도와 화학 물질 농도 기준의 표면 청정도를 구분합니다. 따라서 유지보수는 보편적인 일간, 주간 또는 월간 주기가 아니라 측정한 입자 추세, 잔류물 위험, 마모, 누설, 정비 이벤트를 기준으로 실행해야 합니다(ISO 14644-13, 2026).
고장 메커니즘과 근거를 바탕으로 유지보수 계획을 세우십시오. 육안 검사는 손상된 핑거나 케이블 피복을 찾을 수 있지만 증가하는 입자 추세를 정량화하지 못합니다. 압력 또는 누설 검사는 공압 성능 저하를 찾을 수 있지만 화학 잔류물은 거의 알려 주지 않습니다. 세정은 표면을 복원할 수도 있고 씰을 팽창시키거나 검증된 윤활제를 제거할 수도 있습니다. 각 작업에 고유한 허용 기준이 필요합니다.
달력 주기는 임시 기준일 뿐입니다.
| 트리거 | 필요한 대응 | 재검증 범위 |
|---|---|---|
| 입자 추세가 경보 한계를 넘음 | 핑거, 가이드, 씰, 충격, 정렬, 배기, 인접 가동 부품 점검 | 배경 및 운전 입자 측정 반복 |
| 파지 여유 또는 반복 정밀도 저하 | 압력, 누설, 마찰 패드, 죠 유격, 핑거 모멘트, 부품 변화 확인 | 힘, 미끄럼, 손상, 운동 시험 반복 |
| 씰, 그리스, 핑거, 케이블 또는 피팅 변경 | 승인 부품 번호, 재질, 양, 포장, 조립 방법 확인 | 영향을 받는 입자, 화학, 취급 시험 반복 |
| 세정 약품 또는 접촉 시간 변경 | 재질 호환성과 잔류물 검사 | 표면 청정도와 운전 성능 재평가 |
| 제품 또는 기류에 대한 툴링 위치 변경 | 프로브 위치, 배기 방향, 방출 경로, 제품 노출 검토 | 새 위치에서 설치 후 검증 반복 |
ISO 14644-13은 세정 방법 평가를 위한 일반 지침을 제공합니다. 세부 절차와 손상 메커니즘은 미생물학 및 공정별 화학과 마찬가지로 범위 밖입니다. 정확한 세정제, 농도, 온도를 기록하십시오. 접촉 시간, 와이핑 재질, 사이클 수, 검사할 고장 모드도 추가합니다. 반복 노출의 영향이 알려지지 않았다면 ’IPA 호환’이라는 표현만으로 충분하지 않습니다.
정비 작업을 통제하십시오. 승인된 환경에서만 부품을 개방하고 추적 가능한 교체 키트를 사용합니다. 그리스는 지정된 종류와 양으로 제한한 뒤 정비 후 결과를 기록합니다. 관련 상류 위험은 공압 제어 밸브의 오염 방지 방법을 검토하십시오.
구매 전에 어떤 근거를 요청해야 합니까?
ISO 8573-1은 압축 공기 오염물을 입자, 수분, 오일의 세 가지 주요 그룹으로 정의합니다. 사용 지점에서 각 그룹의 등급을 지정하십시오. 그런 다음 입자 방출과 재질에 대한 모델별 근거를 요청하고, 그리스, 세정, 포장, 파지 성능을 같은 RFQ에 포함하십시오(ISO 8573-1, 2010).
사용 지점 공기 품질은 공기가 그리퍼 또는 관련 밸브와 레귤레이터 연결부로 들어가는 위치에서 지정되거나 측정된 압축 공기 상태입니다.
공급업체에 실제 적용 범위를 보내십시오. ’ISO 5 그리퍼’라고만 요청하면 서로 맞지 않는 가정이 들어올 수 있습니다. 먼저 그리퍼 위치와 노출 제품을 밝히고 관련 입자 크기를 추가하십시오. 죠 동작과 제품을 손상시킬 수 있는 오염 유형도 설명합니다.
눈에 보이는 공백은 조치할 수 있습니다.
| RFQ 항목 | 제공할 정보 | 요청할 근거 |
|---|---|---|
| 청정도 목표 | 클린룸 상태, ISO 등급, 입자 크기, 샘플링 위치, 화학 한계, 배경값 | 모델별 보고서, 구성, 방법, 원시 결과, 불확도, 시험일 |
| 설치 | 도면, 기류, 제품과의 거리, 밸브 위치, 배기 경로, 케이블 경로 | 시험 방향, 프로브 위치, 배출 또는 흡입 구성, 허용 배관 |
| 운동 및 부하 | 부품 질량, 가속도, 사이클 시간, 핑거 길이, 모멘트, 압력, 비상 정지 조건 | 힘 곡선, 파지 지점 한계, 반복 정밀도, 작동 빈도, 누설, 클린 시리즈 제한 |
| 제품 접촉 | 접촉 재질, 압력 한계, ESD 규칙, 민감 표면, 허용 잔류물 | 핑거 및 패드 재질, 표면 처리, 추적성, 세정성, 호환성 데이터 |
| 공기 공급 | 사용 지점 입자, 수분, 오일 등급, 압력, 노점 | 여과, 레귤레이터, 튜브, 윤활, 측정 요구사항 |
| 유지보수 | 접근성, 허용 공구, 교체 정책, 세정 약품, 계획된 모니터링 | 씰 키트, 그리스 사양, 작업 지침, 포장, 보관 수명, 재검증 트리거 |
ISO 압축 공기 품질 가이드를 사용해 ISO 8573-1의 세 그룹을 사용 지점 사양으로 변환하십시오. 오일 에어로졸이 지배적인 위험이라면 코얼레싱 필터 가이드에서 여과의 적용 경계를 확인할 수 있습니다.
공급업체 근거가 없을 때는 세 가지 표시를 사용하십시오. 결과가 없다면 시험하지 않음, 문서화된 이유가 있을 때만 해당 없음, 기계에서 근거 공백을 메워야 한다면 설치 후 검증 필요로 표시합니다. 이 표시는 근거 없는 규정 준수 약속보다 유용합니다. 각각 다른 의사결정으로 이어지기 때문입니다.
현장에서는 이 세 가지 표시를 사용하자 누락된 결과가 일반적인 제품군 설명 뒤에 숨지 못해 공급업체 회신을 훨씬 쉽게 비교할 수 있었습니다.
결론: 더 나은 근거가 품질과 효율을 높입니다
ISO는 2026년 2월 Part 13과 14를 개정하고 5월에는 Part 15를 개정했습니다. 이 문서들은 표면 세정, 부유 입자 방출, 부유 화학 물질 적합성을 구분합니다. 이러한 경계를 파지력 계산 및 설치 시험과 결합하면 전자 제조 품질이 향상됩니다(ISO 14644-13, 2026; ISO 14644-14, 2026; ISO 14644-15, 2026).
실무 순서는 명확합니다. 제품 위험을 정의하고, 모든 오염 경로를 추적하고, 파지력 허용 범위를 계산하고, 정확한 모델 근거를 비교하고, 설치된 엔드 오브 암 툴링을 검증합니다. 정비 또는 공정 변경 후에도 모니터링을 계속하십시오. 이 방법은 보유한 근거보다 과한 성능 주장을 하지 않으면서 오염 사고와 취급 오류를 줄입니다.
클린룸 인증 공압 그리퍼 FAQ
FDA의 ISO 5 기준 한계는 운전 중 0.5 µm 이상 입자 3,520개/m³입니다. 이 수치는 중요 환경을 분류할 뿐 그리퍼를 인증하지 않습니다. 아래 답변은 클린룸 등급, 장비 근거, 힘 설정, 세정, 재검증이라는 다섯 가지 결정을 구분합니다(FDA 무균 공정 지침, 2004).
ISO Class 5가 공압 그리퍼를 인증합니까?
아닙니다. ISO 14644-1은 클린룸 또는 청정 구역의 부유 입자 농도를 분류합니다. ISO 14644-14:2026은 0.1 µm부터 5 µm 이상까지의 입자 크기에 대한 장비 적합성 평가 방법을 제공합니다. 정확한 그리퍼와 운전 조건을 요청하고 시험 챔버, 샘플링 형상, 입자 크기를 기록하십시오.
무오일 또는 무급유 그리퍼가 자동으로 클린룸에 적합합니까?
아닙니다. ISO 8573-1은 압축 공기 청정도를 입자, 수분, 오일로 구분합니다. 그리퍼에는 공장 충전 그리스와 씰뿐 아니라 접착제나 케이블 재질도 포함될 수 있습니다. 정확한 구성과 그리스를 확인하십시오. 배기 경로, 화학 물질 방출 위험, 세정 호환성, 입자 성능은 각각 별도로 검토합니다.
민감한 전자 부품에는 어느 정도의 파지력을 사용해야 합니까?
보편적인 힘 범위는 없습니다. 질량과 중력에 가속도를 더해 죠당 최소 힘을 계산하고, 측정한 마찰, 죠 수, 근거 있는 안전 계수를 포함합니다. 접촉 압력과 굽힘 시험으로 최대값을 정한 뒤 간극, 외관, 기능을 확인하십시오. 미끄럼과 손상 사이에서 검증한 범위만 사용합니다.
클린룸 그리퍼는 얼마나 자주 정비해야 합니까?
일반적인 달력이 아니라 모델 지침과 현장 추세 데이터를 사용하십시오. 사이클 수, 입자 농도, 누설, 죠 유격, 반복 정밀도, 파지 여유, 세정 노출, 정비 이력을 추적합니다. 문서화된 한계에서 부품을 검사하고 씰, 그리스, 핑거, 케이블, 피팅 변경 후에는 영향을 받은 기능을 재검증합니다.
기존 공압 스테이션을 클린룸 그리퍼로 업그레이드할 수 있습니까?
주변 시스템까지 검토한다면 가능합니다. 사용 지점 공기 품질, 밸브 및 배기 위치, 튜브, 피팅, 케이블 캐리어, 압력 안정성, 세정 접근성, 기류, 제품 노출을 확인하십시오. 깨끗한 그리퍼만으로 스테이션 다른 곳에서 발생하는 오염을 없앨 수 없으므로 파지력을 다시 계산하고 설치 후 검증도 반복합니다.
출처 및 확인일
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ISO 14644-1:2015, 부유 입자 분류 범위와 제외 사항. 2026-07-17 확인.
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ISO 14644-13:2026, 지정된 입자 및 화학 청정도 수준에 맞춘 표면 세정. 2026-07-17 확인.
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ISO 14644-14:2026, 부유 입자 농도 기준 장비 적합성과 적용 범위 제외 사항. 2026-07-17 확인.
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ISO 14644-15:2026, 부유 화학 물질 농도 기준 장비 및 재질 적합성. 2026-07-17 확인.
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ISO 8573-1:2010, 압축 공기의 입자, 수분, 오일 및 기타 오염물. 2026-07-17 확인.
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FDA 무균 공정 지침, Class 100 및 ISO 5 용어와 3,520개/m³ 한계. 2026-07-17 확인.
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SMC MHZ2 클린 시리즈, 클린 구성, 그리스, 운전 한계, 반복 정밀도 데이터. 2026-07-17 확인.
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SMC 클린 시리즈 평가법, 샘플링 유량, 시간, 챔버, 신뢰 한계 방법. 2026-07-17 확인.
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NIST SI 가이드, 표준 자유 낙하 가속도. 2026-07-17 확인.